中古 日本エアーテック Airtech ヘパフィルター（FFU） MAC-Ⅱa-150

ヘパフィルター(FFU)は、送風機と高性能エアフィルタを一体にしたファンフィルタユニットで、クリーンルームやクリーンブース、装置の上部に取り付けて清浄な空気を吹き出すための機器です。FFU(Fan Filter Unit)の名のとおり、箱形のケーシングにファンとプレフィルタ、HEPAフィルタまたはULPAフィルタを収め、室内や天井裏から吸い込んだ空気をろ過して下方へ一様に送り出します。
HEPAフィルタは、JIS Z 8122で、定格流量において粒径0.3μmの粒子に対して99.97%以上の捕集率を持ち、初期圧力損失が245Pa以下のエアフィルタと定義されています。さらに細かい粒子を対象とするULPAフィルタは、0.1μm台の粒子に対して99.9995%以上の捕集率を持つもので、半導体の前工程など、より高い清浄度が求められる場所で使われます。ろ材はガラス繊維の薄いシートを細かく折りたたんだプリーツ構造で、粒子は繊維への慣性衝突やさえぎり、拡散によって捕らえられます。
クリーンルームでは、天井の全面または一部にFFUを並べ、上から下へ一方向に空気を流すことで、作業や装置から出た粒子を床側へ押し流します。吹出し面の風速は0.3〜0.5m/s程度に設定されることが多く、天井に占めるFFUの割合と風速によって得られる清浄度が変わります。FFUはユニットごとに送風機を持つため、大型の空調機と長いダクトで送風する方式に比べてレイアウトの変更や増設がしやすく、部分的なクリーン化にも向いています。
送風機には交流モータのほか、回転数を細かく変えられるDCブラシレスモータを使った省エネ型も多く、多数のユニットの風量をまとめて制御できる機種もあります。ケーシングには塗装鋼板やステンレスがあり、設置方法には天井の格子に載せるもの、吊り下げるもの、装置の上に載せるものがあります。
維持管理では、プレフィルタの定期交換と、HEPAフィルタの圧力損失の上昇や風量の低下の監視が基本です。フィルタの取付部から空気が漏れると清浄度が保てないため、フィルタを交換した後はリークテストで漏れの有無を確かめます。中古品を選ぶ際は、フィルタの種類と交換時期、外形寸法と天井の格子の寸法、電源の仕様、風量の調整方法を確認することが大切です。用途は半導体・液晶・電子部品の製造、医薬品や食品の製造、研究施設のクリーンブースなど幅広く、装置単位の局所的な清浄空間づくりにも使われます。