中古機 圧力調整バルブ(APC) Vat製、型式61532-KECL-AWQ1/0001のご紹介

【AIによる装置概要】
半導体やディスプレイ製造をはじめとする各種真空プロセスにおいて、プロセスチャンバー内の圧力を一定に保つために用いられるコントローラ一体型のバタフライ型圧力調整バルブ（APC）です。
バルブ本体に駆動用のステッピングモーターと制御ユニットが統合された設計となっており、省スペース化と配線の簡略化を実現しています。外部の真空計（圧力センサー）から取得した信号をもとに、内蔵コントローラがバルブの開度を高速かつ高精度にクローズドループ制御します。

本仕様はフランジサイズDN40（ISO-KF 40規格）に対応し、通信インターフェースとしてCC-Link規格を採用しています。専用のCC-LINKコネクタを備えているため、PLCや上位の装置制御システムとの高速なデジタル通信ネットワークへ直接組み込むことが可能です。排気コンダクタンスの微細な調整から全開・全閉状態への迅速な動作に対応しており、真空環境下における安定した圧力制御と高い応答性を両立しています。

【AIによる参考仕様】
・バルブ構造: コントローラ一体型バタフライバルブ
・適用フランジサイズ: DN 40 (ISO-KF 40)
・通信インターフェース: CC-Link
・駆動方式: ステッピングモーター
・電源電圧: DC 24 V (±10%)
・漏れ量 (バルブシートおよびボディ): 1.0 × 10⁻⁹ mbar・L/s 以下
・最大許容差圧 (閉止時): 1.2 bar
・バルブ開閉時間 (全開⇔全閉): 1.0 秒 以下
・制御方式: 外部圧力センサー信号入力によるクローズドループ制御
・本体主要材質: アルミニウム
・シール材質: FKM (フッ素ゴム)
・使用温度範囲: バルブ本体 最大約80℃ / コントローラ部 最大約50℃