中古圧力調整バルブ（APC）の在庫・価格

圧力調整バルブ（APC：Adaptive Pressure Controller、自動圧力制御バルブとも呼ばれる）は、真空チャンバと真空ポンプの間の排気ラインに設置し、弁体の開度を連続的に変えて排気コンダクタンスを調整することで、チャンバ内圧力を設定値に保つ機器である。ガス流量はマスフローコントローラで決め、圧力は排気側のAPCで決めるという役割分担が一般的で、下流側（ダウンストリーム）圧力制御と呼ばれる。
仕組みは、チャンバに取り付けた真空計の信号をコントローラが読み取り、設定圧力との偏差に応じて弁体位置を指令する閉ループ制御である。弁体を流路に深く入れるとコンダクタンスが下がって実効排気速度が低下し圧力は上がり、開けば圧力は下がる。駆動にはステッピングモータやサーボモータが使われ、エンコーダで位置を検出しながら数千ステップ以上の分解能で位置決めする。圧力センサにはガス種に依存しにくい隔膜真空計（キャパシタンスマノメータ）を組み合わせることが多く、レンジの異なる2台を圧力域に応じて切り替える構成もある。コントローラはバルブ一体型と外付け型があり、PID制御に加えて、立ち上げ時に排気系のコンダクタンス特性を自動計測して制御パラメータを設定する学習機能を持つものが主流である。
弁の構造は主に振り子式、バタフライ式、ゲート式に分かれる。振り子式は円板状の弁板を流路外の軸まわりに回転させて開口を横切らせる方式で、薄型でチャンバ直下に取り付けやすく、全開時には大きな開口が得られる。弁板が流れを乱しにくく微小開度でも分解能が高いため、低流量での精密制御や低パーティクル性が求められるドライエッチングなどで多用される。弁板を押し付けるシール機構を備え、制御弁と仕切弁を兼ねる機種が多い。バタフライ式は流路内の円板を0〜90°回転させる簡素な構造で、成膜装置や汎用の排気ラインに使われる。ゲート式は弁板を直線的に出し入れする方式で、スパッタリングなど標準的な真空プロセスの圧力制御に用いられる。
仕様の目安として、使用圧力範囲は10^-8 mbar程度の高真空域から1.2 bar(abs)程度まで、口径は40A程度の小口径からISO250クラスの大口径まで幅がある。制御精度はセンサフルスケールの0.1〜0.5％程度、設定変更後の整定時間は数秒程度が一般的な水準である。ボディはアルミ合金が主体で、腐食性ガス用には硬質アルマイトやニッケルなどの表面処理・材質が選ばれる。
用途は半導体・FPD製造のエッチング、CVD、スパッタリング、太陽電池や光学薄膜のコーティング、表面処理、研究用真空装置など、圧力の安定性と再現性が膜質や加工形状を左右するプロセス全般である。選定では、ガス流量と目標圧力から必要なコンダクタンス範囲を求め、ポンプの排気速度と組み合わせたときに制御可能域へ収まるかを確認するのが基本となる。運用面では、反応生成物の付着が弁板やシール部の特性を変え、制御性の劣化や位置ずれの原因となるため、配管やバルブの加熱、定期的な清掃とOリング交換、整備後の再学習を保全計画に組み込むことが重要である。