中古機 圧力調整バルブ(APC) Vat製、型式61534-KEAE-AKR1/0002のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造装置や真空プロセスのチャンバー内圧力を高精度に自動制御（APC：Auto Pressure Control）するためのペンデュラム（振り子）式圧力調整バルブです。ステッピングモーターとコントローラーが統合されており、ホストシステムからの指令に基づいてバルブ開度を瞬時に調整し、プロセスガスの排気コンダクタンスを最適化します。

内部機構には、プレートがバルブポートを水平にスイングして開閉するペンデュラム構造を採用しています。これにより、全開時の排気抵抗（コンダクタンスロス）を最小限に抑えるとともに、機構同士の摩擦によるパーティクルの発生を極限まで低減しています。本体はアルミニウム製で軽量化と堅牢性が図られており、シール材には耐薬品性と気密性に優れたFKM（フッ素ゴム）が用いられています。CVD、エッチング、スパッタリングなどの精密な真空プロセスにおいて、安定した圧力環境を維持するために機能します。

また、コントローラーがアクチュエータと一体化されているため、装置への組み込み配線が簡略化されています。外部コントローラーを必要とせず、単体で高速かつ高分解能な応答性を実現する設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・バルブ構造：ペンデュラム式コントロールバルブ（Series 61系）
・駆動方式：ステッピングモーター駆動（コントローラー内蔵型）
・動作圧力範囲：1×10⁻⁸ mbar ～ 1.2 bar
・バルブ閉鎖時許容差圧：最大 1.2 bar
・リークレート（シートおよびボディ）：1×10⁻⁹ mbar L/s 未満
・接ガス部本体材質：アルミニウム
・シール材質（Oリング）：FKM（フッ素ゴム）
・許容動作温度：バルブ本体 最高 120 ℃ / コントローラー部 最高 50 ℃
・駆動用電源電圧：+24 V DC (±10%)
・想定接続サイズ：サイズコード34（DN125、またはJIS規格 VG150相当）
・インターフェース：内蔵コントローラーによるデジタル通信制御（構成コード AKR1/0002 に準拠したプロトコル・入出力仕様）
・設置姿勢：任意（水平・垂直いずれの配管レイアウトにも対応）