中古 コールドヘッド
メーカー名
ダイキン工業
型式V108C6L
年式表記:1997年
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、ヘリウムガスの断熱膨張を利用して極低温環境を構築するギフォード・マクマホン(GM)サイクルを採用した2段式極低温冷凍機(コールドヘッド)です。主に真空排気装置である8インチクラスのクライオポンプの冷却源として組み込まれ、半導体製造装置や高真空環境が求められる研究開発など、厳密な真空制御が必要なシステムで広く使用されてきました。
内部機構として、モーター駆動によるディスプレーサの往復運動とバルブの開閉タイミングを同期させることで、第1段および第2段の冷却ステージを極低温まで冷却します。熱負荷の大きい輻射シールドおよびバッフルを冷却する第1段ステージは80K(約-193℃)において約35W〜40Wの冷却能力を持ちます。一方、気体分子を直接凝縮・吸着排気するクライオパネルを冷却するための第2段ステージは、20K(約-253℃)において約3.5W〜4.0Wの安定した冷却性能を発揮し、無負荷時の到達温度は10K以下に達します。
運用にあたっては、専用のヘリウム圧縮機(コンプレッサー)および高圧・低圧のフレキシブルホースと接続して閉鎖サイクルを形成する必要があります。長時間の連続運転を前提とした堅牢な設計となっており、真空性能の維持には定期的なオーバーホール(シール部品の交換や内部洗浄など)が推奨される産業用精密機器です。
【AIによる参考仕様】
冷凍サイクル:ギフォード・マクマホン(GM)サイクル
冷却段数:2段式
第1段冷却能力(80K時):約 35 W(50Hz) / 40 W(60Hz)
第2段冷却能力(20K時):約 3.5 W(50Hz) / 4.0 W(60Hz)
無負荷到達温度:第1段 40 K以下 / 第2段 10 K以下
駆動方式:モーター駆動(シンクロナスモーター)
動作冷媒:高純度ヘリウムガス(純度99.999%以上)
冷却対象:8インチクラス・クライオポンプ等
必要機器:専用ヘリウム圧縮機(コンプレッサー)
質量:約 15 kg
※上記は同等クラスの標準仕様に基づく参考値です。実際の能力は接続するコンプレッサーの型式や供給電源の周波数(50Hz/60Hz)により変動します。
本装置は、ヘリウムガスの断熱膨張を利用して極低温環境を構築するギフォード・マクマホン(GM)サイクルを採用した2段式極低温冷凍機(コールドヘッド)です。主に真空排気装置である8インチクラスのクライオポンプの冷却源として組み込まれ、半導体製造装置や高真空環境が求められる研究開発など、厳密な真空制御が必要なシステムで広く使用されてきました。
内部機構として、モーター駆動によるディスプレーサの往復運動とバルブの開閉タイミングを同期させることで、第1段および第2段の冷却ステージを極低温まで冷却します。熱負荷の大きい輻射シールドおよびバッフルを冷却する第1段ステージは80K(約-193℃)において約35W〜40Wの冷却能力を持ちます。一方、気体分子を直接凝縮・吸着排気するクライオパネルを冷却するための第2段ステージは、20K(約-253℃)において約3.5W〜4.0Wの安定した冷却性能を発揮し、無負荷時の到達温度は10K以下に達します。
運用にあたっては、専用のヘリウム圧縮機(コンプレッサー)および高圧・低圧のフレキシブルホースと接続して閉鎖サイクルを形成する必要があります。長時間の連続運転を前提とした堅牢な設計となっており、真空性能の維持には定期的なオーバーホール(シール部品の交換や内部洗浄など)が推奨される産業用精密機器です。
【AIによる参考仕様】
冷凍サイクル:ギフォード・マクマホン(GM)サイクル
冷却段数:2段式
第1段冷却能力(80K時):約 35 W(50Hz) / 40 W(60Hz)
第2段冷却能力(20K時):約 3.5 W(50Hz) / 4.0 W(60Hz)
無負荷到達温度:第1段 40 K以下 / 第2段 10 K以下
駆動方式:モーター駆動(シンクロナスモーター)
動作冷媒:高純度ヘリウムガス(純度99.999%以上)
冷却対象:8インチクラス・クライオポンプ等
必要機器:専用ヘリウム圧縮機(コンプレッサー)
質量:約 15 kg
※上記は同等クラスの標準仕様に基づく参考値です。実際の能力は接続するコンプレッサーの型式や供給電源の周波数(50Hz/60Hz)により変動します。
