中古機 コールドヘッド アイシン精機製、型式GD101Aのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空排気システム（クライオポンプ等）や各種の極低温環境構築に使用される、ギフォード・マクマホン（GM）サイクルを採用した極低温冷凍機（コールドヘッド）です。圧縮された高純度ヘリウムガスを内部で断熱膨張させることで極低温を生成し、真空チャンバー内の気体分子を冷却パネルに凝縮・吸着させるクライオポンプの心臓部として機能します。

本型式は、主に半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置などの高真空プロセスや研究開発用途において広く採用されてきた実績のあるモデルです。内部のディスプレーサをモーターで駆動し、2段階の冷却ステージを通じて効率的な熱交換を行います。第1ステージ（約80 K）では主に水蒸気などを、より低温となる第2ステージ（約20 K以下）では窒素、アルゴン、水素などのガスを排気するための冷却ソースとして安定した性能を発揮します。

堅牢な構造により長時間の連続運転に耐えうる設計となっており、定期的なオーバーホールやシール部品の交換といった適切なメンテナンスを行うことで、長寿命を維持することが可能です。クリーンかつオイルフリーな排気環境が求められるシステムにおいて、信頼性の高いコンポーネントとして機能します。なお、稼働には適合する専用のヘリウムコンプレッサーユニットおよびフレキシブルホース（ガスライン）との接続が必須となります。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：ギフォード・マクマホン（GM）サイクル
作動ガス：高純度ヘリウムガス (He)
第1段冷却能力：15 W (80 K 時)
第2段冷却能力：1.5 W (20 K 時)
到達温度（無負荷時）：10 K 以下
駆動方式：モーター駆動式（ディスプレーサ方式）
適用システム：中型クライオポンプ（主に8インチクラス）および極低温冷却装置
※上記は同シリーズ公式情報に基づく参考値です。実際の冷却性能や到達温度は、組み合わせるコンプレッサーの仕様や運転環境、整備状況により変動する場合があります。