中古 マッチングボックス
メーカー名
アルバック Ulvac
型式MBX-13150F
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
400,000円
【AIによる装置概要】
本製品は、プラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチングなどの真空プラズマプロセスにおいて、高周波（RF）電源とチャンバー（プラズマ負荷）間のインピーダンスを整合させるための自動整合器です。高周波電源から出力される電力を効率的にプラズマへ伝送し、電源側への反射波を最小限に抑える重要な役割を担います。
動作周波数13.56MHz、最大入力電力1.5kW（1500W）の仕様を備えており、研究開発用の小型装置から中規模の生産設備まで、1.5kWクラスの高周波電力を必要とする幅広い真空プロセスに適用可能です。入力側のインピーダンスを50Ωに保ちつつ、プラズマ点火時（着火時）の急激なインピーダンス変動や、プロセス進行中の負荷変動に対しても、内部のモーター駆動式可変コンデンサ（バリコン）が迅速に追従し、常に最適なマッチング状態を維持します。これにより、プラズマの安定放電とプロセス精度の向上が図られます。
同シリーズ内で複数展開されている電力帯域のうち、本機は1.5kWの入力に特化して設計されており、高い耐久性と高速な自動チューニング機能を両立しています。システム構築および組み込みにあたっては、使用する高周波電源との互換性や、同軸ケーブルのコネクタ形状等の適合状況をご確認の上ご検討ください。
【AIによる参考仕様】
動作周波数：13.56 MHz
最大入力電力：1.5 kW (1500 W)
入力インピーダンス：50 Ω
整合方式：自動整合（モーター駆動可変コンデンサ方式）
インピーダンス制御：オートチューニング / マニュアル制御対応
入力端子：50Ω系同軸コネクタ
用途：プラズマCVD、スパッタリング、エッチング等のRFプラズマ発生用負荷整合
本製品は、プラズマCVD、スパッタリング、ドライエッチングなどの真空プラズマプロセスにおいて、高周波（RF）電源とチャンバー（プラズマ負荷）間のインピーダンスを整合させるための自動整合器です。高周波電源から出力される電力を効率的にプラズマへ伝送し、電源側への反射波を最小限に抑える重要な役割を担います。
動作周波数13.56MHz、最大入力電力1.5kW（1500W）の仕様を備えており、研究開発用の小型装置から中規模の生産設備まで、1.5kWクラスの高周波電力を必要とする幅広い真空プロセスに適用可能です。入力側のインピーダンスを50Ωに保ちつつ、プラズマ点火時（着火時）の急激なインピーダンス変動や、プロセス進行中の負荷変動に対しても、内部のモーター駆動式可変コンデンサ（バリコン）が迅速に追従し、常に最適なマッチング状態を維持します。これにより、プラズマの安定放電とプロセス精度の向上が図られます。
同シリーズ内で複数展開されている電力帯域のうち、本機は1.5kWの入力に特化して設計されており、高い耐久性と高速な自動チューニング機能を両立しています。システム構築および組み込みにあたっては、使用する高周波電源との互換性や、同軸ケーブルのコネクタ形状等の適合状況をご確認の上ご検討ください。
【AIによる参考仕様】
動作周波数：13.56 MHz
最大入力電力：1.5 kW (1500 W)
入力インピーダンス：50 Ω
整合方式：自動整合（モーター駆動可変コンデンサ方式）
インピーダンス制御：オートチューニング / マニュアル制御対応
入力端子：50Ω系同軸コネクタ
用途：プラズマCVD、スパッタリング、エッチング等のRFプラズマ発生用負荷整合