中古 アステック ASTECH マッチングボックス ATL-100
本体価格(税別、送料別)150,000円
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- メーカー
- アステック ASTECH
- 型式
- ATL-100
- 機種
- マッチングボックス
- 仕様
- TE580用
- 管理番号
- Z190630144
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
ATL-100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | RFマッチングボックス(自動整合器) |
|---|---|
| 制御電源 | AC100V 1A |
| 適用装置 | 東京エレクトロン TE-580系(掲載仕様欄) |
※RF定格(周波数・許容電力・整合範囲)は資料が無く未確認。アステックのATL系の公式ページは見つからない。
出典: 現品の銘板
アステック ASTECH ATL-100 の装置概要 AIによる記述です
RF電源と真空装置の電極のあいだに入れ、プラズマ側の負荷のインピーダンスを電源の出力インピーダンスに合わせる自動整合器(マッチングボックス)。整合が取れていないと電源の出力が電極に入らずに反射して戻るため、内部の可変素子を自動で調整して反射電力を小さくし、電力を効率よくプラズマへ送る。エッチングや成膜の装置に組み込んで使われる。
掲載の仕様欄によれば、東京エレクトロンのTE-580系の装置に使われていた物。制御電源はAC100V 1A。
周波数や許容電力、整合できる範囲などのRFの定格は資料が無く、確かめられていない。アステックのATL系の公式ページも見つかっていない。組み合わせるRF電源の周波数と出力に合うかは、現品の銘板や元の装置の資料で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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