中古 京三製作所 Kyosan マッチングコントローラー MAK5A
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- メーカー
- 京三製作所 Kyosan
- 型式
- MAK5A
- 機種
- マッチングボックス
- 管理番号
- D072032
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MAK5A の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 制御対象 | マッチングボックスのMATCH・TUNE 2系統の真空バリコン(モータ駆動) |
|---|---|
| 整合モード | AUTO(自動)/MANUAL(手動) |
| 操作モード | PANEL/ANALOG/PRE/REC(外部制御はインタフェース付きタイプのみ) |
| プリセット/リコール記憶点数 | 最大16 点 |
| アナログ指令・バリコン位置モニタ電圧 | 0〜5 または 0〜10 V |
| 外部入力 | フォトカプラ入力(PRE/RECのコモン +24 VDC) |
| マッチング動作遅延時間の設定範囲 | 0.0〜10.0 s |
| 表示部 | 蛍光表示管 |
| 筐体 | フルラックタイプ |
| 入力電圧 | 単相100(90〜110)、50/60 Hz V |
| 入力容量(MAK5A-SK3の値) | 30 VA |
| 背面コネクタ(MAK5A-SK3の例) | AMC-OUT(Dサブ25ピン)/DET-IN(Dサブ9ピン)/INTERFACE/ACインレット |
| プリセットデータの保持(無通電時) | 約1か月(内蔵スーパーキャパシタ) |
※MAK5Aには装置メーカー向けの末尾記号付きバリエーション(-SK3、-SB2など)があり、外部インタフェースの有無(NORMAL/ANALOG/PRE/RECの各タイプ)が異なります。NORMALタイプは背面のINTERFACEコネクタが塞がれています。現品のタイプは銘板と背面で確認が必要です。
※入力容量・背面コネクタ・プリセット保持期間は、MBK10-SK8と組になるMAK5A-SK3の取扱説明書の値です。
※コントローラ単体では整合できず、対応するマッチングボックスと専用ケーブル(AMC、DET)が必要です。周波数と扱える電力はマッチングボックス側で決まります。
※プリセットデータはRAMに保存され、無通電で約1か月を超えると失われるため、再入力が必要になる場合があります。
※外形寸法・質量は取扱説明書の外形図が読み取れず未記載です。
出典: メーカー資料
京三製作所 Kyosan MAK5A の装置概要 AIによる記述です
RF(高周波)電源とプラズマ負荷の間に入るマッチングボックスを制御して、インピーダンス整合を自動で取るためのコントローラです。マッチングボックス内の方向性結合器から反射波などの検出信号を受け取り、内蔵マイコンで演算して、MATCH・TUNEの2つの真空バリコンを回すモータへ駆動信号を送ります。高周波スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの装置で、京三製作所のマッチングボックス(MBKシリーズなど)と組み合わせて使われます。
前面に蛍光表示管と操作キーを備え、自動整合と手動整合の切替、バリコン位置の記憶(プリセット)と呼び出し(リコール)を最大16点まで行えます。外部インタフェース付きのタイプでは、0〜5 Vまたは0〜10 Vのアナログ電圧によるバリコン位置の指令(ANALOGモード)や、4ビットのSELECT信号によるプリセット/リコール(PRE/RECモード)にも対応します。MAK5Aはフルラックタイプで、操作方法が同じで外形の異なるハーフラックタイプがMAK5Bです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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