真空機器の買取
中古スパッタ装置・真空蒸着機の
買取・無料査定
スパッタリング装置、真空蒸着機、EB蒸着機、イオンコーター(SEM用の試料コーター)を全国から買い取ります。研究室の卓上機から生産用の量産機まで対応します。装置として動作しない場合でも、真空ポンプ・真空計・RF/DC電源・マッチングボックス・チャンバーなど構成部品に価値が残るため、買取価格と引取費用を相殺する形でご提示できる場合があります。

買取の対象になる成膜装置と部品
研究室の卓上機から生産用の装置、取り外した電源・部品まで扱っています。写真はどれも当社で買い取り・販売した品です。
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スパッタリング装置
アネルバ SPF シリーズ・芝浦メカトロニクス・アルバックなど
RF・DCのスパッタ装置、マグネトロンスパッタ装置。研究開発用の卓上機から生産用の装置まで対象です。
当社の取扱例アネルバ: SPF-332H・SPF730H付属・SPF-210H・SPF-430H・SPF-530H・CRTM-5000真空デバイス: MSP-1Sアルバック: SH-250取扱 38台
中古スパッタ装置の在庫・取扱実績 -
真空蒸着装置・EB蒸着装置
アルバック・昭和真空・アネルバなど
抵抗加熱式の真空蒸着装置と、電子ビーム(EB)蒸着装置。蒸着源・膜厚計などの構成をお知らせください。
当社の取扱例サンユー電子: SVC-700・SVC-700 Turboアルバック: EBX-1000・VPC-410・VTR-060M/ERH日立: HUS-5GBアネルバ: L-400E-T・L-043E-TN取扱 39台
中古蒸着機の在庫・取扱実績 -
イオンコーター(SEM試料用)
日立 E-1010・E-1030 など
SEMの試料に導電性の膜を付ける小型のコーター。SEMと一緒のご相談にも対応します。
当社の取扱例日立: E-1010・E-1030・E-1020日本電子: JFC-1100E・JFC-1600・JFC-1100真空デバイス: MSP-10サンユー電子: SC-701MKⅡECO取扱 38台
中古イオンコーターの在庫・取扱実績 -
スパッタ用電源・マッチングボックス
AE・Eni・京三製作所・アドテックなど
装置から外したDC電源・パルス電源やマッチングボックスも、単体で査定します。
当社の取扱例Eni: RPG-50・DCG-100アドバンスドエナジー: MDX500・pinnacle 12kWElectronic Measurements: EMS60-10アネルバ: PDC-028アドテック: AMV-3000-FM松定プレシジョン: PK30-27取扱 142台
中古DC電源の在庫・取扱実績
スパッタ装置・真空蒸着機の査定について
査定対象となる状態
原則として正常動作品を対象としますが、長期保管品、動作未確認品、付属品が欠けた装置も機種により査定します。当社は成膜装置の構成部品(電源・膜厚計・ポンプ・バルブ類)を単体でも販売しているため、装置全体では値が付きにくい機体でも、引取費用と相殺する形でご提示できる場合があります。
主なメーカー
上記以外のメーカーもご相談ください。
査定で確認する情報
基板サイズ、ターゲットの枚数と口径、到達真空度、電源構成(RF/DC・出力)、膜厚計の有無、付属ポンプの構成、制御PC・ソフトの有無、設置場所と搬出条件を確認します。使用していた材料(有害物質の有無)は必ずお知らせください。
スパッタ装置・真空蒸着機のこれまでの取扱実績
当社が実際に取り扱い、販売サイトに掲載したスパッタ装置・真空蒸着機のメーカー・型式です(136型式。取扱台数の多い順、同じ台数は最近取り扱った順)。同じ型式・同じシリーズであれば、査定の見当が付けやすくなります。ここに無い型式もお気軽にご相談ください。
| メーカー | 型式 | 種類 | 取扱台数 |
|---|---|---|---|
| Eni | RPG-50 | 電源・整合器 | 17台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX500 | 電源・整合器 | 10台 |
| Electronic Measurements(EMI) | EMS60-10 | 電源・整合器 | 8台 |
| アネルバ(ANELVA) | PDC-028 | 電源・整合器 | 7台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | pinnacle 12kW | 電源・整合器 | 7台 |
| Eni | DCG-100 | 電源・整合器 | 6台 |
| 日立(Hitachi) | E-1010 | イオンコーター | 6台 |
| 日立(Hitachi) | E-1030 | イオンコーター | 6台 |
| アドテック(ADTEC) | AMV-3000-FM | 電源・整合器 | 5台 |
| 松定プレシジョン(Matsusada) | PK30-27 | 電源・整合器 | 4台 |
ほかの型式を見る(20型式)
| メーカー | 型式 | 種類 | 取扱台数 |
|---|---|---|---|
| 日本電子(Jeol) | JFC-1100E | イオンコーター | 4台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-332H | スパッタ | 4台 |
| オリジン(ORIGIN) | GEXUS-20 | 電源・整合器 | 4台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | ピナクルプラス 10kW | 電源・整合器 | 4台 |
| 松定プレシジョン(Matsusada) | PK45-18 | 電源・整合器 | 3台 |
| 京三製作所(Kyosan) | HPK15ZI | 電源・整合器 | 3台 |
| 真空デバイス | MSP-1S | スパッタ | 3台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | ピナクル PINNACLE20K PFP | 電源・整合器 | 3台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF730H付属 | スパッタ | 3台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX-L12 650 | 電源・整合器 | 3台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | M/N3152427-1280 | 電源・整合器 | 3台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SVC-700 | 蒸着 | 2台 |
| 菊水電子工業(Kikusui) | PAS500-1.2 | 電源・整合器 | 2台 |
| 菊水電子工業(Kikusui) | PWR800M | 電源・整合器 | 2台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | M/N 3152533-356C | 電源・整合器 | 2台 |
| 真空デバイス | MSP-10 | イオンコーター | 2台 |
| アルバック(Ulvac) | SH-250 | スパッタ | 2台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SVC-700 Turbo | 蒸着 | 2台 |
| ノダRFテクノロジーズ | NM2A-14 | 電源・整合器 | 2台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-210H | スパッタ | 2台 |
残りの型式を見る(106型式)
| メーカー | 型式 | 種類 | 取扱台数 |
|---|---|---|---|
| アルバック(Ulvac) | EBX-1000 | 蒸着 | 2台 |
| 日立(Hitachi) | E-1020 | イオンコーター | 2台 |
| 日立(Hitachi) | HUS-5GB | 蒸着 | 2台 |
| Eni | MW-10DM2 | 電源・整合器 | 2台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | ピナクル PINNACLE20K AFP | 電源・整合器 | 2台 |
| アルバック(Ulvac) | VPC-410 | 蒸着 | 2台 |
| 日本電子(Jeol) | JFC-1600 | イオンコーター | 2台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-430H | スパッタ | 2台 |
| 京三製作所(Kyosan) | HPK1 R5-15 | 電源・整合器 | 2台 |
| 京三製作所(Kyosan) | MBK30-EM1 | 電源・整合器 | 2台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-530H | スパッタ | 2台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | PEⅡ10K | 電源・整合器 | 2台 |
| アルバック(Ulvac) | DCS0402A | 電源・整合器 | 2台 |
| アネルバ(ANELVA) | CRTM-5000 | スパッタ | 2台 |
| 日本電子(Jeol) | JFC-1100 | イオンコーター | 2台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX5K | 電源・整合器 | 2台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX-L12M | 電源・整合器 | 2台 |
| 京三製作所(Kyosan) | 06Z-AN1E | 電源・整合器 | 2台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | 127500 | 電源・整合器 | 2台 |
| アネルバ(ANELVA) | L-400E-T | 蒸着 | 2台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SC-701MKⅡECO | イオンコーター | 1台 |
| テクシオ(ケンウッド) | PSW-360L3 | 電源・整合器 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | VTR-060M/ERH | 蒸着 | 1台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SC-708H | イオンコーター | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | L-043E-TN | 蒸着 | 1台 |
| 京三製作所(Kyosan) | HPK06Z | 電源・整合器 | 1台 |
| RD-1250RS | 蒸着 | 1台 | |
| アドバンスドエナジー(AE) | M/N 3152012-112B | 電源・整合器 | 1台 |
| Eni | RPG-50A | 電源・整合器 | 1台 |
| エイコー・エンジニアリング(真空装置) | IB-3 | イオンコーター | 1台 |
| E-1030 | イオンコーター | 1台 | |
| エリオニクス(Elionix) | ESC-101 | イオンコーター | 1台 |
| 松定プレシジョン(Matsusada) | PR35-34-LUs1 | 電源・整合器 | 1台 |
| 日立(Hitachi) | E-1050 | イオンコーター | 1台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX2.5KW | 電源・整合器 | 1台 |
| クリエイティブデザイン | 102Y-2 | 電源・整合器 | 1台 |
| 日立(Hitachi) | E101 | イオンコーター | 1台 |
| 東レエンジニアリング(TORAY ENGINEERING) | スパッタ装置 | スパッタ | 1台 |
| アステック(ASTECH) | ATH-100 | 電源・整合器 | 1台 |
| 日立(Hitachi) | E102 | イオンコーター | 1台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SC-708 | イオンコーター | 1台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX-1K | 電源・整合器 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | VPC-260 | 蒸着 | 1台 |
| エイコー・エンジニアリング(真空装置) | EO-5 | 蒸着 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | VPC-250F | 蒸着 | 1台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SC-701MCY | イオンコーター | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SGC-8M2 | 蒸着 | 1台 |
| キーサイト(アジレント・HP) | 6264B | 電源・整合器 | 1台 |
| 高砂製作所(Takasago) | HV1.0-10 | 電源・整合器 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | EBX-8C | 蒸着 | 1台 |
| 島津製作所(Shimadzu) | HSR-521A | スパッタ | 1台 |
| 日本電子(Jeol) | JEE-400 | 蒸着 | 1台 |
| 京三製作所(Kyosan) | MAK5A | 電源・整合器 | 1台 |
| 京三製作所(Kyosan) | HPK03Z | 電源・整合器 | 1台 |
| アドテック(ADTEC) | AMV-2000-CX | 電源・整合器 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | EVC-1701 | 蒸着 | 1台 |
| Eni | RPG-50A-MRG | 電源・整合器 | 1台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX-2.5K | 電源・整合器 | 1台 |
| アドテック(ADTEC) | AMV-1000AN2 | 電源・整合器 | 1台 |
| 高砂製作所(Takasago) | HX060-250 | 電源・整合器 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | PDC-017E | 電源・整合器 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | SBC-16SA | 蒸着 | 1台 |
| Gatan | model691 | スパッタ | 1台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | pinnacle 10kW | 電源・整合器 | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SEC-06T-SP | 蒸着 | 1台 |
| アドバンスドエナジー(AE) | 3152535-100C | 電源・整合器 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | SH-450 | スパッタ | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SEC-16 | 蒸着 | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SEC-22CM | 蒸着 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | EVC-1501 | 蒸着 | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SEC-0502C | 蒸着 | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SEC-10SA-C | 蒸着 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | SH-450-T14 | スパッタ | 1台 |
| 芝浦メカトロニクス | i-Miller CFS-4EP-LL | スパッタ | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-730 | スパッタ | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | VPS-020 | イオンコーター | 1台 |
| シンクロン | BMC-900DS | 蒸着 | 1台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SC-701MkⅡ | イオンコーター | 1台 |
| サンユー電子(Sanyu) | SVC-700L | スパッタ | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | ILC-714 | スパッタ | 1台 |
| アルバック機工(Ulvac) | VFR-200M | 蒸着 | 1台 |
| 日本真空技術 | BC4447 | スパッタ | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | VPC-260F | 蒸着 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | ILC-702 | スパッタ | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | C7553 | スパッタ | 1台 |
| 芝浦メカトロニクス | CFS-6PH | スパッタ | 1台 |
| 昭和真空(SHOWA SHINKU) | SGC-400T | 蒸着 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | EDX-14D | 蒸着 | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | VPC-1100 | 蒸着 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-410H | スパッタ | 1台 |
| Electronic Measurements(EMI) | TCR600S1 | 電源・整合器 | 1台 |
| SBC-16SA | 蒸着 | 1台 | |
| アドバンスドエナジー(AE) | MDX10K 3152012 | 電源・整合器 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | EVP-36259 | スパッタ | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | ILC-703 | スパッタ | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | L-400E-C | 蒸着 | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-720H | スパッタ | 1台 |
| アネルバ(ANELVA) | SPF-730H | スパッタ | 1台 |
| アルバック(Ulvac) | ei-5 | 蒸着 | 1台 |
| エイコー・エンジニアリング(真空装置) | IB-5 | イオンコーター | 1台 |
| マイクロフェーズ(MICROPHASE) | MPVAP-nano | 蒸着 | 1台 |
| 京三製作所(Kyosan) | RC-UNIT | 電源・整合器 | 1台 |
| 日立(Hitachi) | 03-E0631 | イオンコーター | 1台 |
| 東京精電 | PS-GA0125 | 電源・整合器 | 1台 |
| 松定プレシジョン(Matsusada) | PK35-34 | 電源・整合器 | 1台 |
| 高砂製作所(Takasago) | GP060-10R | 電源・整合器 | 1台 |
「取扱台数」は当社がこれまでに販売サイトへ掲載した件数です。買取価格を示すものではありません。査定額は年式・状態・付属品と、その時点の需要によって決まります。
スパッタ装置・真空蒸着機を高く売るためのポイント
- 装置全体の写真に加えて、背面・側面の電源ラックとチャンバー内部の写真があると評価が正確になります。
- 取扱説明書・図面・制御PC・ソフトが残っていれば評価が上がります。
- ターゲット材やシールド類が残っている場合は、その内容もお知らせください。
- 解体・搬出の条件(設置階、搬出口の寸法、クレーンの要否)を早めにお知らせいただくと、引取費用まで含めた回答が早くなります。
スパッタ装置・真空蒸着機の買取実績
当社が実際に買い取り、販売サイトに掲載したスパッタ装置・真空蒸着機の一部です(新しい順・同じ型式は1台。写真は掲載時のもの)。同じ型式・同じシリーズの機器は査定の見当が付けやすくなります。
サンユー電子(Sanyu)SVC-7002026年 販売
日立(Hitachi)E-1030在庫あり
アルバック(Ulvac)VTR-060M/ERH2026年 販売
芝浦メカトロニクスCFS-4EP-LL在庫あり
アドバンスドエナジー(AE)MDX(3152011-056E)在庫あり
アドバンスドエナジー(AE)MDX(2224-013-E)在庫あり
アドバンスドエナジー(AE)MDX-5K(2011-056-D)在庫あり
日立(Hitachi)E-1010在庫あり
アネルバ(ANELVA)L-043E-TN2026年 販売
京三製作所(Kyosan)HPK06Z2026年 販売
アドバンスドエナジー(AE)MDX-5K M/N3152011-054H在庫あり
アドバンスドエナジー(AE)MDX-10K M/N3152012-102A在庫あり
さらに見る(24型式)
松定プレシジョン(Matsusada)PK30-272025年 販売
RD-1250RS2025年 販売
アドバンスドエナジー(AE)M/N 3152012-112B2025年 販売
EniRPG-50A2025年 販売
EniDCG1002025年 販売
エイコー・エンジニアリング(真空装置)IB-32025年 販売
アドバンスドエナジー(AE)M/N 3152533-356C2025年 販売
真空デバイスMSP-1S在庫あり
芝浦メカトロニクスBM-700在庫あり
アルバック(Ulvac)MBX-13150F在庫あり
アネルバ(ANELVA)PDC-0282025年 販売
エリオニクス(Elionix)ESC-1012025年 販売
松定プレシジョン(Matsusada)PK45-182025年 販売
日本電子(Jeol)JFC-1100E2024年 販売
真空デバイスMSP-102024年 販売
アドバンスドエナジー(AE)pinnacle 12kW2024年 販売
松定プレシジョン(Matsusada)PR35-34-LUs12024年 販売
日立(Hitachi)E-10502024年 販売
アドバンスドエナジー(AE)MDX2.5KW2024年 販売
松定プレシジョン(Matsusada)PQ30-27在庫あり
松定プレシジョン(Matsusada)PQ10-80在庫あり
クリエイティブデザイン102Y-22023年 販売
アネルバ(ANELVA)SPF-332H2023年 販売
アルバック(Ulvac)SH-2502023年 販売
このようなときにご相談ください
- 研究室の閉鎖・移転で、古いスパッタ装置や蒸着装置を撤去したい
- 生産装置の更新で、成膜装置がまるごと不要になった
- 使っていない成膜装置が場所を取っている。廃棄の見積りが思ったより高かった
- SEMを更新して、試料用のイオンコーターが不要になった
成膜装置は、真空ポンプ・真空計・電源・マッチングボックスなどの構成部品にも価値が残ります。装置として動かない場合でも、引取費用と相殺する形でご提示できる場合があります。
販売在庫・過去の取扱例もご確認いただけます
買い取ったスパッタ装置・真空蒸着機は、当社の販売サイトで動作確認・整備のうえ再流通させています。現在の在庫と過去の掲載例は、需要と取扱経験の目安としてご覧いただけます。現在の販売在庫は54点です。
査定に必要な情報
可能な範囲でお知らせください。すべて揃っていなくても構いません。型式が分からない場合は、銘板と装置全体の写真だけでもお送りください。
- 装置名称
- 型式
- メーカー
- 年式
- 新品取得時の価格
- 稼動状態
- 動作確認の可否
- 下見の可否
- 設置場所の住所
- 設置場所からの搬出方法
- 装置写真(外観・内部・銘板)
- 販売希望価格
装置が多い場合や、機器の一覧表(表計算やメモで構いません)・写真をまとめて送りたい場合は、メールでもご依頼いただけます。![]()
買取の流れ
- 01無料査定を依頼お問い合わせフォームまたはメールで、装置の情報と写真をお送りください。
- 02情報の確認装置名・メーカー・型式・年式・写真などを確認し、不明点があればご連絡します。
- 03査定額のご案内内容を確認後、概算の査定額と引取条件をご案内します。
- 04下見・正式見積必要に応じて現地下見を行い、搬出方法を含めた正式なお見積りを提示します。
- 05搬出・お支払い日程を調整して機器を引き取り、お支払いします。
よくある質問(スパッタ装置・真空蒸着機の買取)
Q動かないスパッタ装置ですが、処分費をかけずに済みますか?
Q大学の研究室にある古い蒸着機ですが対象になりますか?
Qスパッタ装置の買取価格の相場はどのくらいですか?
QRF電源やDC電源だけでも売れますか?
Q査定は無料ですか?
Q全国どこからでも買取できますか?
買取全般のよくある質問は中古機買取のトップにまとめています。
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