中古機 HF電源 京三製作所　Kyosan製、型式HFK15Z-SZ2のご紹介

【AIによる装置概要】
半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）、各種電子部品の製造プロセスにおいて、真空チャンバー内にプラズマを発生させるためのエネルギー源として使用される高周波（RF）電源です。主にプラズマCVD、ドライエッチング、スパッタリングといった成膜および微細加工プロセスにおいて中核的な役割を果たします。

本機は発振周波数13.56MHz帯を採用しており、最大定格1500W（1.5kW）の高周波電力を出力します。出力インピーダンスは高周波機器の業界標準である50Ωに設計されており、外部のオートマッチングネットワーク（インピーダンス整合器）と組み合わせて使用することで、プラズマ状態の変化に伴う負荷変動に対しても反射波を最小限に抑え、チャンバー内へ高効率かつ安定した電力供給を実現します。

高い応答性と精密な出力制御技術を備えており、厳密なプロセス制御が要求される量産ラインから、研究開発環境でのプラズマ生成まで幅広く運用される産業用電源装置です。なお、型式末尾の「SZ2」は、特定の製造装置やシステム構成に応じたインターフェース（アナログ制御、シリアル通信方式、コネクタ形状など）のカスタマイズが施されている仕様であることを示しています。

【AIによる参考仕様】
機器分類：高周波（RF）電源 / RFジェネレータ
発振周波数：13.56 MHz
最大定格出力：1500 W (1.5 kW)
出力インピーダンス：50 Ω
入力電源電圧：AC 200 V 系（3相）
冷却方式：水冷式
主な適用プロセス：プラズマCVD、ドライエッチング、アッシング、スパッタリング等

※上記は同シリーズにおける標準的なデータに基づく参考仕様です。末尾の枝番（SZ2）に依存する固有の通信インターフェース、制御ピンアサイン、入出力コネクタの形状などの詳細については、実機の銘板およびメーカー仕様書にてご確認ください。