中古機 DC電源 京三製作所　Kyosan製、型式30Z-SZ3のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）、各種電子部品の製造プロセスにおいて、真空プラズマ装置に組み込まれるプラズマ発生および制御用の特殊電源です。最大定格出力は3kW、駆動周波数は250kHzの仕様を備えています。

一般的に250kHz帯の周波数を利用する電源は、スパッタリングやプラズマCVD、ドライエッチングなどのプロセスにおいて、直流（DC）電圧に高周波パルスを重畳、あるいは高速スイッチングさせることで、異常放電（アーキング）の発生を効果的に抑制します。特に絶縁膜の成膜やターゲット表面のチャージアップ対策に有効であり、安定したプラズマ放電を長期間維持することで、成膜レートの向上や均一な膜質の形成に寄与します。

産業用の高度な真空装置システムへの搭載を前提として設計されているため、外部I/Oインターフェースを通じたリモート制御、出力電力・電圧の詳細なモニタリング機能、および過電流や過電圧に対する各種保護インターロック機構を標準的に搭載しています。実稼働のシステムに組み込む際には、対象チャンバーの放電特性や、要求される冷却方式との適合性を事前に確認することが推奨されます。

【AIによる参考仕様】
・装置カテゴリ: プラズマプロセス用電源（DC / パルス制御対応）
・定格最大出力: 3 kW
・駆動周波数: 250 kHz
・適用プロセス: スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング、表面改質など
・主な機能: アーク抑制機能（異常放電検知・遮断）、定電力 / 定電圧 / 定電流制御モード
・外部インターフェース: アナログ / デジタルI/Oによるリモート制御・監視対応
・保護・安全回路: インターロック、過電圧保護（OVP）、過電流保護（OCP）、異常温度検知
・冷却方式: 強制空冷 または 水冷（※現品のコネクタおよび配管構造に依存）

※公式ページ等における同シリーズ他型式（出力・周波数違い）との情報混同を避けるため、上記は出力3kW・周波数250kHzの条件に基づく当該クラスの標準的な仕様を記載しています。詳細なピンアサインやインピーダンス整合の条件については、現品およびメーカーのマニュアルをご確認ください。