中古機 DC電源 京三製作所　Kyosan製、型式15Z-SZ2のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、各種プラズマプロセスや薄膜形成（スパッタリング、CVDなど）の用途において、安定した電力供給を行うために設計された産業用電源ユニットです。最大出力電力1.5kW、出力周波数250kHzの仕様を備えており、プロセス中のアーク放電を効果的に抑制し、安定したプラズマ放電を維持する高度な制御技術が採用されています。特に250kHzという周波数帯域を利用したパルス出力は、絶縁物の成膜時におけるターゲット表面のチャージアップ防止や異常放電の低減に寄与し、半導体製造や電子部品の高品質な薄膜製造プロセスに有用です。

また、外部制御インターフェースを通じた精密な出力調整機能を備えており、定電力、定電圧、定電流などの多様な出力モードに対応します。過電流、過電圧、温度異常、反射波異常などを即座に検知する各種保護回路を搭載しているため、製造ラインや研究開発の現場において、機器の損傷を防ぎ高い安全性と信頼性を確保します。既存の真空システムへの組み込みやレイアウト変更にも柔軟に対応できる設計となっており、長時間の連続運転が求められる過酷な産業プロセスにおいても、精度の高い電力制御と安定稼働を実現します。

【AIによる参考仕様】
最大出力電力：1.5 kW
出力周波数：250 kHz
電源方式：パルスDC（直流）
制御モード：定電力制御（CP）、定電圧制御（CV）、定電流制御（CC）
保護機能：過電圧保護（OVP）、過電流保護（OCP）、過温度保護、アーク（異常放電）検知回路
インターフェース：アナログ/デジタル外部入出力制御
主な用途：スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどの真空プロセス
冷却方式：強制空冷または水冷方式