中古機 ターボ分子ポンプ（TMP） ファイファー　Pfeiffer製、型式Splitflow80のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、複数の真空ステージを必要とする分析システム向けに開発されたマルチインレット型のターボ分子ポンプです。通常、高真空ポートに加えて中間（インターステージ）ポートを備えており、1台で複数のチャンバーを異なる圧力レベルで同時に排気する能力を持ちます。これにより、真空ポンプの設置スペースやシステムコストを削減し、装置全体の小型化を実現します。

本個体は、Phenom World社製の精密機器から取り外された特殊設計（OEM）モデルです。分析機器などに求められる厳しい低振動・低ノイズの要件を満たすため、ハイブリッドベアリング（永久磁石およびセラミックボールベアリング）を採用しており、安定した稼働と長寿命を両立しています。内部のローターは最大90,000 rpmの定格回転数で高速駆動し、コンパクトな筐体でありながら高い排気速度と優れたガス圧縮比を提供します。限られたスペースで多段の真空環境を構築する組み込み用途に特化した設計となっています。

【AIによる参考仕様】
※組み込み用の特殊仕様（OEM）のため、同クラスの標準的な数値を参考値として記載しています。
ポンプ方式：マルチインレット（多段排気）型ターボ分子ポンプ
主ポート排気速度（N2）：約 60 ～ 70 L/s
定格回転数：90,000 rpm
駆動電圧：24 V DC（専用コントローラ接続時）
軸受方式：ハイブリッドベアリング（高真空側: 永久磁石 / 大気側: セラミックボール軸受）
冷却方式：空冷または自然空冷（組み込み環境に依存）
真空ポート構成：主高真空（HV）ポート、中間（インターステージ）ポート、粗引きポート
想定用途：卓上電子顕微鏡、AFM、質量分析計などの多段真空システム