中古機 ターボ分子ポンプ（TMP） 島津製作所　Shimadzu製、型式TMP-803LM(O)のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、機械的な接触部を持たない磁気軸受を採用した中型クラスのターボ分子ポンプです。5軸制御の磁気軸受機構によりロータを浮上させて高速回転させるため、潤滑油を一切使用せず、オイルバックフローのない完全なクリーン真空環境を構築できます。また、軸受の機械的な摩耗が発生しないことから、長期間の連続運転が可能であり、メンテナンス周期の延長に寄与します。

窒素（N2）に対して800 L/sの排気速度を有しており、到達圧力はフランジの仕様やベーキング（加熱脱ガス）条件により10^-7〜10^-8 Pa台の超高真空を実現します。本仕様はロータの最適化や制振構造により低振動化が図られており、微小な振動が測定結果に影響を与える電子顕微鏡、表面分析装置、質量分析計などの精密機器におけるメインポンプとして適しています。

半導体・液晶製造装置や各種真空実験装置など、クリーンかつ安定した大排気量が求められる幅広い用途で活用されます。運用にあたっては、専用の電源コントローラと接続することで、回転数の制御、状態監視、および停電・異常発生時の安全なロータ降下などの各種保護機能が動作します。なお、型式末尾の記号は冷却方式や表面処理などの個別オプション仕様を示している場合があるため、設置環境に応じた冷却系統（水冷または空冷）の確認が必要です。

【AIによる参考仕様】
排気方式：磁気軸受式ターボ分子ポンプ
排気速度 (N2)：800 L/s
排気速度 (He)：約 850 L/s
排気速度 (H2)：約 600 L/s
到達圧力：10^-7 〜 10^-8 Pa台（使用フランジおよびベーキング条件による）
起動時間：約 4 〜 5 分
吸気口フランジ：VG150 / ISO160-K / ICF203 等（個体仕様により異なる）
排気口フランジ：KF25 (NW25)
冷却方式：水冷 または 空冷
許容周囲温度：5 〜 40 ℃
質量：約 22 kg