中古 ターボ分子ポンプ（TMP）
メーカー名
大阪真空機器製作所
型式
年式表記：
仕様:電源TC1103
仕様:電源TC1103
本体価格(税別、送料別)
500,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、チャンバー内を中真空から超高真空領域まで排気するために用いられるターボ分子ポンプ（TMP）です。高速回転する動翼（タービンブレード）と固定された静翼の組み合わせにより、衝突する気体分子に運動量を与えて排気側へ押し出す機構を採用しています。油などの潤滑剤が真空側へ逆流しないため、極めてクリーンな真空環境を構築でき、半導体・液晶製造プロセスや真空蒸着装置、電子顕微鏡などの各種精密分析機器に広く導入されています。
高度なローター回転制御と精密なバランシング技術により、運転中の振動および騒音レベルが低く抑えられており、微細な振動の影響を嫌う測定機器への組み込みにも適しています。また、剛性の高いローター設計により、高負荷なガス排気時や大気突入時でも安定した性能を維持します。専用の電源コントローラーと組み合わせることで、定格回転数への到達時間や稼働状態の監視、異常発生時の保護機能などが自動的に管理され、長期間の連続稼働においても高い信頼性と安全性を発揮する装置です。
【AIによる参考仕様】
※代表的な中型クラス（排気速度300L/s帯）の参考数値を記載しています。実際の仕様は銘板や対象モデルをご確認ください。
排気速度（N2）：320 L/s
排気速度（H2）：240 L/s
圧縮比（N2）：1.0 × 10^8 以上
到達圧力（メタルシール・ICFフランジ時）：1.0 × 10^-7 Pa 以下
到達圧力（Oリングシール時）：1.0 × 10^-6 Pa 以下
定格回転数：60,000 rpm
起動時間：約 3 分
許容背圧：200 Pa 以下
冷却方式：水冷 または 空冷
設置姿勢：任意（全方位対応）
質量：約 10 kg
本装置は、チャンバー内を中真空から超高真空領域まで排気するために用いられるターボ分子ポンプ（TMP）です。高速回転する動翼（タービンブレード）と固定された静翼の組み合わせにより、衝突する気体分子に運動量を与えて排気側へ押し出す機構を採用しています。油などの潤滑剤が真空側へ逆流しないため、極めてクリーンな真空環境を構築でき、半導体・液晶製造プロセスや真空蒸着装置、電子顕微鏡などの各種精密分析機器に広く導入されています。
高度なローター回転制御と精密なバランシング技術により、運転中の振動および騒音レベルが低く抑えられており、微細な振動の影響を嫌う測定機器への組み込みにも適しています。また、剛性の高いローター設計により、高負荷なガス排気時や大気突入時でも安定した性能を維持します。専用の電源コントローラーと組み合わせることで、定格回転数への到達時間や稼働状態の監視、異常発生時の保護機能などが自動的に管理され、長期間の連続稼働においても高い信頼性と安全性を発揮する装置です。
【AIによる参考仕様】
※代表的な中型クラス（排気速度300L/s帯）の参考数値を記載しています。実際の仕様は銘板や対象モデルをご確認ください。
排気速度（N2）：320 L/s
排気速度（H2）：240 L/s
圧縮比（N2）：1.0 × 10^8 以上
到達圧力（メタルシール・ICFフランジ時）：1.0 × 10^-7 Pa 以下
到達圧力（Oリングシール時）：1.0 × 10^-6 Pa 以下
定格回転数：60,000 rpm
起動時間：約 3 分
許容背圧：200 Pa 以下
冷却方式：水冷 または 空冷
設置姿勢：任意（全方位対応）
質量：約 10 kg