中古機 ターボ分子ポンプ（TMP） 島津製作所　Shimadzu製、型式TMP-803LM(O)のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、磁気軸受（磁気浮上）方式を採用した複合型ターボ分子ポンプです。定格の排気速度は窒素ガス（N2）に対して820 L/sを備えており、高真空から超高真空領域においてオイルフリーでクリーンな排気環境を構築します。

広帯域仕様を示す「LM」タイプであり、ターボ翼の下流側にドラッグポンプ（分子摩擦ポンプ）機構が組み込まれているのが構造上の大きな特徴です。これにより、単一のターボ段のみを持つポンプと比較して高い許容背圧（最大約300 Pa）に対応可能となっています。高い背圧や吸気圧力帯域でも安定した排気性能を維持できるため、粗引きラインからのスムーズな移行や、補助ポンプの小型化に寄与します。

軸受部には5軸制御の磁気浮上方式を採用しており、ロータが完全非接触の状態で高速回転します。機械的な摩耗や潤滑油の劣化が発生しないため、振動や騒音が極めて低く抑えられ、長期間にわたるメンテナンスフリー稼働を実現しています。型式末尾の「(O)」は、吸気口フランジ部におけるOリング溝の有無などシール仕様を示すものであり、接続先のチャンバー要件に応じた構成となっています。半導体・FPD製造装置や各種真空プロセスにおいて、安定した排気が求められる環境で運用される機器です。

【AIによる参考仕様】
吸気口フランジ：VG150 / ISO160 / ICF203 など（仕様により異なる）
排気口フランジ：KF40
排気速度（N2）：820 L/s
排気速度（Ar）：820 L/s
排気速度（He）：680 L/s
排気速度（H2）：500 L/s
到達圧力（Oリングシール使用時）：10^-7 Pa オーダー
到達圧力（メタルシール使用時）：10^-8 Pa オーダー
最大許容背圧：約 300 Pa
軸受方式：5軸制御磁気軸受
冷却方式：水冷（標準）／空冷（オプション）
質量：約 25 kg