中古機 ターボ分子ポンプ（TMP） 島津製作所　Shimadzu製、型式TMP-B300のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、クリーンな高真空および超高真空環境を構築するために使用される玉軸受（ボールベアリング）式のターボ分子ポンプです。軸受部にはグリス潤滑を採用しているため、オイルフリーでの排気が可能であり、システムへの油分の逆流を防ぎます。また、磁気浮上式と比較してコントローラを含めたシステム全体がコンパクトかつ軽量に設計されており、設置姿勢の自由度が高い点も特徴です。

排気性能として、窒素（N2）に対して約280 L/sから300 L/sの排気速度を備えており、中・小型チャンバーの主排気ポンプに最適です。窒素に対する圧縮比は10^8以上と非常に高く、コンフラットフランジ（ICF）仕様で適切なベーキング処理を施すことにより、10^-7 Pa台の到達圧力を実現します。

主に各種分析機器、真空蒸着やスパッタリングといった成膜装置、電子顕微鏡、研究開発用の実験装置など、安定した真空排気が求められる幅広い用途に導入されています。同シリーズ内で複数のサイズが展開されている中、本機は中程度の排気能力を持ち、取り扱いの容易さと堅牢な動作を両立した汎用性の高いモデルに位置付けられています。

【AIによる参考仕様】
・軸受方式：玉軸受（ボールベアリング）
・潤滑方式：グリス潤滑
・排気速度（N2）：約 280 L/s ～ 300 L/s（※吸気口フランジの規格により若干変動）
・到達圧力：< 10^-7 Pa（ICFフランジ・ベーキング時）/ < 10^-6 Pa（VG・ISOフランジ時）
・圧縮比（N2）：> 10^8
・定格回転数：約 60,000 rpm
・起動時間：約 3 ～ 5 分
・吸気口フランジ接続規格：JIS VG100 / ICF152 / ISO100
・排気口フランジ（粗引き口）：KF25（NW25）
・冷却方式：強制空冷 または 水冷
・推奨補助ポンプ排気速度：200 L/min ～ 300 L/min クラス