中古 アルバック Ulvac マッチングボックス MBX-13150F
本体価格(税別、送料別)400,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- MBX-13150F
- 機種
- マッチングボックス
- 管理番号
- Z25061801
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
MBX-13150F の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | 自動マッチングボックス(AUTO MATCHING BOX) |
|---|---|
| 対応周波数 | 13.56 MHz |
| 対応電力 | 15 kW |
| 冷却 | 水冷、2L/min |
| 質量 | 24 kg |
※数値は現品の銘板から読んだ値。メーカーの仕様表は現行サイトに無い(現行はMBX-Nシリーズ0.5〜5kW)
※整合範囲・入出力コネクタ・制御信号の仕様は未確認。組み合わせるRF電源の型式は個体で確認のこと
出典: 現品の銘板
アルバック Ulvac MBX-13150F の装置概要 AIによる記述です
RF電源と真空容器の電極の間に入れて、プラズマ側のインピーダンスを電源の出力に合わせる自動マッチングボックス(整合器)。プラズマのインピーダンスはガスの種類や圧力、電力によって変わるため、合わせないままだと送った電力が反射して電源に戻り、プラズマに届く電力が減る。内部の素子を自動で調整して整合をとり、スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVDの装置で使われる。
現品の銘板では、対応周波数は13.56MHz、対応電力は15kWと大電力向けで、冷却は水冷(2L/min)、質量は24kg。
メーカーの現行サイトに仕様表は無く、整合範囲・入出力コネクタ・制御信号の仕様は確かめられていない。組み合わせるRF電源の型式は個体で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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