中古 キヤノン Canon アライナー PLA-501S
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- メーカー
- キヤノン Canon
- 型式
- PLA-501S
- 機種
- アライナー
- 管理番号
- Z1803210A
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
PLA-501S の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 露光方式 | プロキシミティ/ハードコンタクト/ソフトコンタクト(切替) |
|---|---|
| 光源(超高圧水銀灯) | 250 W |
| 露光波長 | g線436・h線405・i線365 nm |
| 照度ムラ | 6以下(φ125mm内)/10以下(φ136mm内) % |
| 像面照度 | 約13 mW/cm² 以上 |
| 露光時間設定 | 0.1〜59.9 s |
| 露光量繰返し精度 | ±3 % |
| アライメントギャップ/焼付けギャップ | 0〜98/0〜48(2µm単位) µm |
| 対応ウエハ | 3インチ(φ76)・4インチ(φ100)が標準、専用チャックでφ2″〜φ5″ |
| 対応フォトマスク | □3″〜□6″(マスクホルダーで選択) |
| アライメント可動範囲 | XY φ10mm(粗動4:1・微動100:1)、θ ±5° |
| 電源 | 本体AC100/117/220/240V 50/60Hz 350VA以上、水銀灯点灯装置AC100/115V 600VA(点灯初期1200VA) |
| ユーティリティ | 窒素0.1MPa以上・高圧エア0.35MPa以上・低圧エア0.25MPa以上・真空45〜76cmHg |
| 外形寸法(W×D×H) | 1,100×820×1,344(専用机共) mm |
| 質量 | 225(専用机共) kg |
※仕様は社内保管の PLA-501S 取扱説明書による
※フォトマスクホルダー・ウエハチャック・キャリブレーターは選択部品で、使うインチサイズで組合せが決まる。この個体のサイズは仕様欄と現品で確かめること
※本体のみの寸法は940×800×724mm。コントロールボックスは300×710×487mm・30kg、水銀灯点灯装置は160×320×270mm・6.5kg
※1秒以下の露光時間の精度・安定性はメーカーが保証していない
※L-39・ND・UC などのフィルターはオプション
出典: メーカー資料
キヤノン Canon PLA-501S の装置概要 AIによる記述です
フォトマスクのパターンを、ウエハ上のレジストに等倍で焼き付けるプロキシミティ/コンタクト方式のマスクアライナー(露光装置)。マスクとウエハを顕微鏡で見ながら位置を合わせ、超高圧水銀灯の紫外光(g線・h線・i線)を一括で当てる。プロキシミティ、ハードコンタクト(真空密着)、ソフトコンタクトの3つの焼付けモードをスイッチで切り替えられ、研究開発や少量生産のフォトリソグラフィに使われる。
光源はウシオの250W超高圧水銀灯で、照度ムラはφ125mm内で6%以下、像面照度は約13mW/cm²以上。露光量は積算露光計で一定に制御し、露光時間は0.1〜59.9秒で設定する。アライメントギャップは0〜98µm、焼付けギャップは0〜48µmを2µm単位で設定できる。ウエハは3インチまたは4インチを標準とし、専用チャックでφ2″〜φ5″にも対応する。サイクルタイムは約30秒(アライメント10秒・露光1秒の場合)。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
