中古 VAT コンダクタンスバルブ 95244-PAGC-AAQ1/0091
本体価格(税別、送料別)80,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- VAT
- 型式
- 95244-PAGC-AAQ1/0091
- 機種
- コンダクタンスバルブ
- 仕様
- OH品 新品より保管
- 管理番号
- C032864
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
95244-PAGC-AAQ1/0091 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | コンダクタンス(圧力制御)バルブ VAT シリーズ952 |
|---|---|
| 型番 | 95244-PAGC-AAQ1/0091 |
| 制御部 | アクチュエータ・コントローラ一体、D-subコネクタ複数 |
| 状態 | オーバーホール済み(掲載仕様欄「OH品 新品より保管」) |
※シリーズ952のデータシートが見つからず、呼び径・コンダクタンス・圧力範囲・インターフェースは未確認。
出典: 現品の銘板
VAT 95244-PAGC-AAQ1/0091 の装置概要 AIによる記述です
真空チャンバと排気ポンプの間に入れ、弁の開度を変えて排気のコンダクタンスを調整し、チャンバの中の圧力を制御するコンダクタンスバルブ(圧力制御バルブ)です。VATのシリーズ952に属し、弁を動かすアクチュエータとコントローラが一体になった構成で、複数のD-subコネクタから制御の信号や電源を受けます。
半導体製造装置のエッチングやCVDなどでは、プロセスガスを流しながらチャンバの圧力を一定に保つ必要があり、真空計の信号に合わせて弁の開度を調整する圧力制御バルブがその役目を担います。
シリーズ952のデータシートが見つからず、呼び径、コンダクタンス、圧力範囲、インターフェースは確認できていません。組み合わせる装置の信号や配管の口径に合うかどうかは、型番と実物から確かめる必要があります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 95244-PAGC-AAQ1/0091 の在庫
ほかのコンダクタンスバルブの在庫
コンダクタンスバルブの在庫をすべて見る(3点) ›
コンダクタンスバルブの買取も行っています
不要になったコンダクタンスバルブがありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。