中古 東京ハイパワー アンテナチューナー HC-2000S

本装置は、半導体製造装置や真空プラズマプロセス（スパッタリング、CVD、ドライエッチングなど）において、高周波（RF）電源からプラズマチャンバーへ電力を効率よく伝達するためのインピーダンス整合ユニット（オートマッチングコントローラー）です。プラズマの着火時やプロセスの進行に伴い、チャンバー内のインピーダンスは動的に変動します。本装置は、進行波と反射波の位相および振幅のズレを瞬時に検出し、内部または外部ネットワークの可変コンデンサ（バリコン）をモーター駆動によって自動調整します。これにより、電源側への反射電力を最小限に抑え、常に最適な50Ωのインピーダンス整合を維持します。

最大2000W（2kW）クラスの高周波電力の制御に対応しており、プロセスの安定化とRF電源本体の保護に直結する重要な役割を担います。フロントパネルの操作による自動（Auto）および手動（Manual）モードの切り替えにより、プロセスに応じた細かなチューニングが可能なほか、外部システムからのリモート制御にも対応しています。長時間の連続稼働が要求される産業分野において、プラズマの再現性確保と歩留まり向上に貢献する設計となっています。