中古 樫山工業 Kashiyama ドライポンプ MU600X-004

本装置は、半導体製造や液晶パネル製造などの過酷なプロセス環境向けに開発された、多段ルーツ式のドライ真空ポンプです。プロセスガスによる生成物の堆積や腐食を抑制するため、ポンプ内部の温度制御を最適化するヒーター制御や独自の構造設計が採用されています。特に、CVDやエッチングなどのパーティクルや反応性ガスが多く発生するプロセスにおいても、高い排気性能と耐久性を長期間維持できる点が特徴です。

最大排気速度は6,000 L/minに達し、中真空領域から大気圧まで安定した連続排気能力を提供します。ルーツローターを多段に配置した非接触構造により、オイルバックや発塵がなく、クリーンな真空環境を構築可能です。インバーター制御による省エネルギー運転にも対応しており、プロセス負荷の変動に応じた消費電力の最適化が行われます。また、シール部への窒素（N2）パージ機能により、腐食性ガスの軸受部への侵入を防ぎ、ポンプの長寿命化を実現しています。稼働中の振動や騒音レベルも低く抑えられており、クリーンルーム内や精密装置周辺での設置にも適した堅牢な設計となっています。