中古 アルバック Ulvac ドライポンプ LR90
本体価格(税別、送料別)300,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- LR90
- 機種
- ドライポンプ
- 管理番号
- Z25071003
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
LR90 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 112/126 m³/h |
|---|---|
| 排気速度(L/min表記) | 1,860/2,100 L/min |
| 到達圧力 | 5.0 Pa |
| 吸気口フランジ | VG80(NW80) |
| 排気口フランジ | NW40 |
| 方式 | 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ(低温均熱化仕様、キャンドモータ) |
| 最大連続吸気圧力 | 大気圧 |
| 電源 | 三相200V(50/60Hz)、220V(60Hz) |
| 電流 | 定常11.2、最大11.8 A |
| 冷却方式 | 水冷(冷却水流量5.0L/min以上、一次圧力0.1〜0.3MPa) |
| N2パージ | 軸5SLM、ガスバラスト0〜45SLM |
| 質量 | 245 kg |
※数値は社内保管のアルバック ドライ真空ポンプ LR/HR/UR シリーズ カタログ(仕様一覧のLR/HR90列)による
※吸気口VG80(NW80)はCE仕様の表記。旧ロットで異なる可能性
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac LR90 の装置概要 AIによる記述です
油を使わずに複数段のルーツ型ロータを回して気体を送り出し、大気圧から排気する多段ルーツ型のドライ真空ポンプ。排気の経路に油が無いため、半導体製造装置や成膜・エッチング装置の粗引きや、ターボ分子ポンプなどの補助ポンプとして使われる。低温均熱化仕様で、モータはキャンドモータ。
排気速度は112/126m³/h(1,860/2,100L/min)、到達圧力は5.0Pa、最大連続吸気圧力は大気圧。吸気口フランジはVG80(NW80)、排気口フランジはNW40。電源は三相200V(50/60Hz)と220V(60Hz)で、電流は定常11.2A、最大11.8A。冷却は水冷で、冷却水流量は5.0L/min以上、一次圧力は0.1〜0.3MPa。N2パージは軸5SLM、ガスバラスト0〜45SLMで、質量は245kg。設置には三相の電源と冷却水の配管が要る。
吸気口のVG80(NW80)はCE仕様の表記で、旧ロットでは異なる可能性がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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