中古 樫山工業 Kashiyama ドライポンプ MU300-019

本装置は、主に半導体製造やFPD（フラットパネルディスプレイ）製造プロセスなど、高度なクリーン環境と安定した真空排気が求められる設備で使用される多段ルーツ型の水冷式ドライ真空ポンプです。ローター等のガス接液部に潤滑油や封止液を一切使用しない完全なドライ構造を採用しており、真空チャンバー内への油分の逆拡散を防ぎ、清浄な真空環境を維持することができます。

大気圧から高真空領域までの全圧力帯において連続運転が可能であり、60Hz運転時の最大排気速度は約300 m3/h（5000 L/min）、到達圧力は1.0 Pa以下という優れた排気性能を有しています。水冷式の冷却機構を備えることで、長時間の稼働時や過酷なプロセス条件下でも装置内部の熱上昇を効果的に抑え、安定したクリアランスと稼働状態を維持します。

なお、型式末尾の「-019」は、冷却水配管の取り回し、電気的な通信インターフェース、特定のプロセスガス対応など、特定のユーザーまたはメイン装置向けにカスタマイズされた枝番仕様を示しています。ロードロック室の粗引きや高真空ポンプのバックアップ用途など、高い耐久性が要求される産業用途で幅広く活用される排気システムです。