中古 VAT 圧力調整バルブ(APC) 61532-KECL-AWQ1/0001
本体価格(税別、送料別)100,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- VAT
- 型式
- 61532-KECL-AWQ1/0001
- 機種
- 圧力調整バルブ（APC）
- 仕様
- CC-LINKコネクタ付
- 管理番号
- Z22070762
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
61532-KECL-AWQ1/0001 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | バタフライ式 圧力制御バルブ(ステッピングモータ+圧力コントローラ内蔵) |
|---|---|
| 型番 | 61532-KECL-AWQ1/0001 |
| 呼び径 | DN40(1½") |
| 材質・フランジ | ステンレス AISI 316L、ISO-KF(型番のKEから) |
| コントローラ構成 | C=センサ電源(±15V DC)+停電時オプション(PFO、停電時に自動で閉/開) |
| インターフェース | L=CC-Linkインターフェース、センサ1点 |
| 開閉時間 | 0.5(絞り動作時0.6) 秒 |
| 最大差圧 | 1000 mbar |
| 圧力範囲 | 1×10⁻⁸ mbar〜1.2 bar(abs)(ステンレス) |
| シール | FKM(バイトン) |
| 最高温度 | 本体≤120、周囲≤50 ℃ |
| 質量 | 3.3(ステンレス製) kg |
※型番の読み解き(先頭5桁=呼び径、KE/各記号の意味)はVAT 615シリーズのデータシートの発注表による。銘板は型番と製造番号のみ。
出典: shop.bannerindustries.com、現品の銘板
VAT 61532-KECL-AWQ1/0001 の装置概要 AIによる記述です
真空チャンバーの圧力を一定に保つために、排気側の開度を連続的に変える圧力制御バルブ。バタフライ式の弁板をステッピングモータで回し、内蔵の圧力コントローラが真空計の信号を見ながら開度を調整する。CVDやスパッタ、エッチングなど、ガスを流しながら決まった圧力で処理する装置の排気ラインに組み込まれる。
呼び径はDN40で、本体はステンレス AISI 316L、接続はISO-KF。インターフェースはCC-Linkで、センサ1点をつなぐ構成。センサ電源(±15V DC)と、停電時に自動で閉または開にする停電時オプション(PFO)を備える。開閉時間は0.5秒(絞り動作時0.6秒)、最大差圧は1000mbar、使用圧力範囲は1×10⁻⁸ mbar〜1.2 bar(abs)。シールはFKM(バイトン)、最高温度は本体120℃以下・周囲50℃以下、質量は3.3kg。
型番の各記号の読み解きは同シリーズのデータシートの発注表によるもので、銘板に記されているのは型番と製造番号だけ。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
ほかの圧力調整バルブ（APC）の在庫
圧力調整バルブ（APC）の在庫をすべて見る(2点) ›
圧力調整バルブ（APC）の買取も行っています
不要になった圧力調整バルブ（APC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。