中古 VAT 圧力調整バルブ(APC) 61534-KEAE-AKR1/0002
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- VAT
- 型式
- 61534-KEAE-AKR1/0002
- 機種
- 圧力調整バルブ（APC）
- 管理番号
- Z22070763
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
61534-KEAE-AKR1/0002 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | バタフライ式 圧力制御バルブ(ステッピングモータ+圧力コントローラ内蔵) |
|---|---|
| 型番 | 61534-KEAE-AKR1/0002 |
| 呼び径 | DN50(2") |
| 材質・フランジ | ステンレス AISI 316L、ISO-KF(型番のKEから) |
| コントローラ構成 | A=センサ電源(±15V DC)内蔵 |
| インターフェース | E=Logicインターフェース、センサ2点 |
| 開閉時間 | 0.5(絞り動作時0.6) 秒 |
| 最大差圧 | 1000 mbar |
| 圧力範囲 | 1×10⁻⁸ mbar〜1.2 bar(abs)(ステンレス) |
| シール | FKM(バイトン) |
| 最高温度 | 本体≤120、周囲≤50 ℃ |
| 質量 | 3.6(ステンレス製) kg |
※型番の読み解き(先頭5桁=呼び径、KE/各記号の意味)はVAT 615シリーズのデータシートの発注表による。銘板は型番と製造番号のみ。
出典: shop.bannerindustries.com、現品の銘板
VAT 61534-KEAE-AKR1/0002 の装置概要 AIによる記述です
真空チャンバーの圧力を一定に保つため、排気のコンダクタンスを連続的に変える圧力制御バルブ。ステッピングモータで回すバタフライ式の弁板と圧力コントローラを一体にしており、真空計の信号に応じて開度を自動で調整する。成膜やエッチングなどの装置で、プロセスガスを流しながら所定の圧力に保つ用途に使われる。
呼び径はDN50(2インチ)で、本体はステンレス AISI 316L、接続はISO-KF。センサ電源(±15V DC)を内蔵し、インターフェースはLogic、センサは2点までつなげるため、レンジの異なる真空計を組み合わせる使い方ができる。開閉時間は0.5秒(絞り動作時0.6秒)、最大差圧は1000mbar、使用圧力範囲は1×10⁻⁸ mbar〜1.2 bar(abs)。シールはFKM(バイトン)、最高温度は本体120℃以下・周囲50℃以下、質量は3.6kg。
型番の記号の意味は同シリーズのデータシートの発注表から読んだもので、銘板には型番と製造番号だけが記されている。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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