中古 その他 ビューポート

本製品は、真空チャンバー内部の状態を目視で観察したり、各種光学機器を用いた測定やプロセス監視を行うための真空用観察窓（ビューポート）です。真空環境を確実に維持したまま、外部からの光の導入やチャンバー内部からの光の取り出しを可能にします。フランジ部には耐食性に優れたステンレス鋼を採用し、窓材と金属スリーブを高度な技術で気密接合することで、極めて高い真空シール性を実現しています。ヘリウムリークテストによる許容リーク量は1.0×10^-10 Pa・m^3/s以下に抑えられており、到達圧力10^-8 Pa台の超高真空システムでも安全に使用できます。

窓材には、可視光から近赤外領域にかけて高い透過率を持つコバールガラスをはじめ、紫外領域にも対応する石英ガラス、耐久性に優れたサファイアガラスなどが採用されています。標準的なコバールガラス製の場合、約300 nmから2500 nmの幅広い波長域を透過し、目視確認からレーザー導入まで多彩な用途に対応します。さらに、真空装置の立ち上げ時に不可欠なベーキング（加熱脱ガス）処理にも対応しており、最大400℃程度の高温環境下でも気密性を損ないません。半導体製造装置、真空蒸着装置、各種表面分析機器など、厳しい条件と高い信頼性が求められる真空プロセスにおいて不可欠なコンポーネントです。