中古 サンユー電子 Sanyu 蒸着機 SVC-700

本装置は、主に走査型電子顕微鏡（SEM）や透過型電子顕微鏡（TEM）、EPMAなどの電子顕微鏡用試料を作製するための小型高真空蒸着機です。タングステンバスケットを用いた各種金属の抵抗加熱蒸着や、カーボンロッドを用いたカーボン蒸着に対応しており、非導電性試料への導電性付与やレプリカ膜の作製などに広く利用されています。

真空排気系には、油の逆流が少なくクリーンな高真空を短時間で得られるターボ分子ポンプと油回転ポンプの組み合わせが採用されており、チャンバー内を速やかに10^-4 Pa台の高真空状態へ到達させることが可能です。チャンバーには視認性に優れた外径150mmの硬質ガラス製ベルジャーを採用しており、蒸着中のフィラメントの輝度や試料の状態を全方位から目視で確認しながら作業を行えます。

操作系は複雑な自動制御を省いた手動操作が主体となっており、ピラニ真空計およびペニング真空計の指示値を確認しながら、電流調整ダイヤルで蒸着電源（最大AC10V/50A）を直感的にコントロールできます。これにより、ユーザー側で蒸着レートや膜厚の微調整が容易に行えます。限られたスペースにも設置しやすいコンパクトな卓上設計でありながら、研究開発や品質管理の現場で要求される本格的な高真空蒸着を安定して実行できる実用性の高い装置です。