中古 大亜真空 DIAVAC コールドカソード DGC-A12/TRC

本装置は、高真空領域の圧力測定に用いられる冷陰極電離真空計（コールドカソードゲージ）のデジタル表示コントローラおよび測定子ユニットです。フィラメントなどの高温発熱体を必要としない冷陰極（ペニング放電）方式を採用しているため、運用中の断線リスクがなく、振動や突発的な大気流入に対しても高い堅牢性を持ちます。特に反応性ガスや汚れが発生しやすいプロセス環境において、熱陰極型と比較して優れた耐久性と長寿命を実現する点が特徴です。

コントローラ前面には視認性の高いLEDデジタルパネルが配置されており、測定圧力値を仮数部と指数部で明確に表示します。測定範囲はおおよそ10^-1 Paから10^-5 Pa（または10^-6 Pa）台の高真空領域をカバーし、真空蒸着装置、スパッタリング装置、真空炉などの各種真空排気システムにおける到達圧力の監視やプロセス制御に広く用いられます。また、外部システムとの連携を考慮し、圧力記録用のアナログ出力電圧（0-10V等）や、任意の圧力値で動作するセットポイント接点出力（リレー出力）を備えており、真空ラインの自動バルブ制御やインターロック構築に寄与します。電離を利用する原理上、超高真空下での放電開始に遅れが生じる場合がありますが、構造がシンプルで定期的な洗浄等のメンテナンスが容易な実用的な真空計システムです。