中古 三菱重工業 ターボ分子ポンプ（TMP） PT-300
商談中（先約あり）
本体価格(税別、送料別)100,000円
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- メーカー
- 三菱重工業
- 型式
- PT-300
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 年式
- 1994年
- 管理番号
- Z26032605
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
PT-300 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 300 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 260 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁶ Pa |
| 吸気口フランジ | VG100 / ICF152 |
| 排気口フランジ | NW25 |
| 圧縮比(N2) | >10⁸ |
| 圧縮比(水素) | 10⁴ |
| 最大吸気口圧力/排気口圧力 | 0.13 / 13 Pa |
| 定格回転数 | 54000 rpm |
| 起動/停止時間 | 4 / 7 min |
| 軸受方式 | 上部:磁気軸受、下部:ピボット軸受 |
| 使用油/油量 | ふっ素油 / 約10 mL |
| 冷却方式 | 空冷 / 水冷 |
| 冷却水量 | 0.5以上(接続口Rc1/4) L/min |
| 標準補助ポンプ排気速度 | 200 L/min |
※排気速度は保護金網を装着しない場合の値
※吸気口フランジはJIS VG100とICF152の2仕様。個体の仕様は現物で確認が必要
※仕様値はJVIS005規格による計測値または計算値
出典: メーカー資料
三菱重工業 PT-300 の装置概要 AIによる記述です
高速で回る多段の羽根で気体分子をはじき飛ばし、高真空から超高真空をつくるターボ分子ポンプ。補助ポンプで粗引きした後に動かし、真空蒸着やスパッタ、分析装置などの排気に使われる。軸受は上部が磁気軸受、下部がピボット軸受の組み合わせで、ふっ素油を約10mL使う。
排気速度は300 L/s(水素260 L/s)、到達圧力は10⁻⁶ Pa。圧縮比はN2で10⁸を超え、水素で10⁴。最大吸気口圧力は0.13 Pa、最大排気口圧力は13 Pa。定格回転数は54000 rpmで、起動に4分、停止に7分かかる。吸気口フランジはVG100またはICF152、排気口はNW25。冷却は空冷または水冷で、水冷では0.5L/min以上の冷却水を流す(接続口Rc1/4)。標準の補助ポンプの排気速度は200 L/min。
排気速度は保護金網を付けない場合の値。吸気口フランジは2仕様あり、個体の仕様は現物で確かめる必要がある。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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