中古 ファイファー Pfeiffer ターボ分子ポンプ（TMP） TMH261
本体価格(税別、送料別)300,000円
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- メーカー
- ファイファー Pfeiffer
- 型式
- TMH261
- 機種
- ターボ分子ポンプ（TMP）
- 年式
- 2007年
- 管理番号
- Z26090504
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
TMH261 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度(N2) | 210 L/sec |
|---|---|
| 排気速度(He / H2 / Ar) | 220 / 175 / 200 L/sec |
| 到達圧力(油回転ポンプ使用時) | <1×10⁻⁷ mbar |
| 吸気口フランジ | DN100 ISO-K |
| 排気口フランジ | DN25 ISO-KF / G1/4 |
| 方式 | ターボ分子ドラッグポンプ(TC 600 駆動電子ユニット用) |
| 圧縮比(N2 / He / H2) | >1×10⁹ / 3×10⁵ / 1.4×10⁴ |
| 許容背圧(N2) | 10 mbar |
| 定格回転数 | 60000(スタンバイ40000) rpm |
| 立上り時間 | 1.6 min |
| 冷却方式 | 水冷または空冷(冷却水100 L/h、25℃以下) |
| 電源 | 48 V DC、最大消費電力200W(連続170W) |
| 質量 | 6.1(TMH 261 P) kg |
※現品は別途DC電源・ケーブルの準備が必要。駆動電子ユニット(TC 600系)の有無は要確認
※取説は TMH 261 P / TMU 261 P(パージガス接続機構付き)の版。無印 TMH 261 も排気速度・フランジは同じ
※TMU 261(吸気口 DN100 CF-F)は到達圧力 <5×10⁻¹⁰ mbar、質量8.1kg
出典: idealvac.com、メーカー資料
ファイファー Pfeiffer TMH261 の装置概要 AIによる記述です
高速回転するタービン翼とドラッグ段を組み合わせ、気体分子を排気側へ送って高真空を作るターボ分子ドラッグポンプです。ドラッグ段を持つため許容背圧が窒素で10 mbarと高く、ダイアフラムポンプなど小型の粗引きポンプとも組み合わせられます。窒素の排気速度は210 L/sec、吸気口はDN100 ISO-Kで、研究用チャンバー・表面分析装置・成膜装置の主排気に用いられます。
駆動回路はポンプに内蔵されておらず、外部の駆動電子ユニット(TC 600系)と組み合わせて48 V DCで運転するタイプです。定格回転数は60000 rpm、立上り時間は約1.6分です。冷却は水冷または空冷ユニットによります。現品は備考のとおりDC電源とケーブルが付属しないため、運転にはこれらと粗引きポンプの準備が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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