中古 島津製作所 Shimadzu ターボ分子ポンプ（TMP） TMP550-L

本装置は、高真空から超高真空環境の構築に使用されるターボ分子ポンプです。高速回転する多段のタービン翼によって気体分子を物理的に弾き飛ばし、クリーンな真空排気を行います。型式の数値が示す通り、窒素（N2）ガスに対する排気速度は約550 L/secクラスの性能を備えており、半導体製造プロセス、各種成膜装置（スパッタリング、真空蒸着等）、分析機器、および研究開発用途の真空排気システムにおけるメインポンプとして適しています。

到達圧力は組み合わせる粗引きポンプ（バックポンプ）やフランジのシール方式に依存しますが、一般的に10^-7 Paから10^-8 Pa台の超高真空を実現します。このクラスのポンプは吸気口にVG150やISO160等のフランジ規格が採用されることが多く、中規模サイズの真空チャンバーの排気に利用されます。

なお、本品はポンプ本体単体での状態であり、ポンプを駆動・制御するために必須となる専用コントローラーおよび専用接続ケーブルは付属していません。そのため、すでに同型機を運用中で予備機・部品取りを必要とされている環境、または適合するコントローラー・ケーブル類を別途手配可能な環境での運用が前提となります。