中古 アネルバ ANELVA オリフィスコントローラー CMS-301

真空排気系に組み込むバリアブルコンダクタンスバルブ(CMS-300 シリーズ)の制御電源で、バルブを駆動するパルスモータを動かして開口度、つまり排気のコンダクタンスを調整する。開口度は 3 1/2 桁のデジタルパネルメータに 0〜100.0% で表示され、前面の10回転ポテンショメータで任意の値に設定できる。設定精度はフルスケールの ±0.2%、全開から全閉までの所要時間は 15 秒以下とされている。
制御モードは設定値どおりに開口度を保つ SET、全開にする OPEN、外部の 0〜+10 V DC 信号で開口度を決める EXT SET、別売の CMS-101 プレッシャーコントローラと組み合わせて真空室の圧力を自動制御する EXT CONT の4つ。開口度と設定値は 0〜+10 V DC で外部へ出力でき、外部リレー接点による全開操作にも対応する。電源は AC100 V 単相で、取扱説明書の質量はケーブルを除いて約 2.5 kg。動作にはバルブ本体と接続ケーブル(標準 5 m)が別に必要になる。