中古 アネルバ ANELVA フローコントローラー CMS-201
本体価格(税別、送料別)30,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- CMS-201
- 機種
- オリフィスコントローラー
- 備考
- 部品取り品
- 管理番号
- G102603
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CMS-201 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 出力電圧 | ±15VDC 350mA、+7.5VDC 500mA |
|---|---|
| 流量設定出力 | 0〜+5VDC フルスケール |
| 流量入力電圧 | 0〜+5VDC フルスケール |
| 流量表示 | 3½桁デジタルパネルメータ 最大1000(小数点位置は任意選択、フルスケール100〜1000で任意校正可) |
| 流量・レシオ設定 | 10回転ポテンショメータ(FLOW／RATIO をスイッチ切替) |
| 制御モード | SET(ポテンショメータで流量制御)／CLOSE(流量ゼロ)／EXT SET(外部設定信号)／EXT CONT(CMS-101プレッシャーコントローラによる制御) |
| 外部出力 | 流量モニター出力 0〜+10VDCフルスケール 10mA、流量設定モニター出力 0〜+10VDCフルスケール 10mA |
| 外部入力 | EXT SET 入力 0〜+10VDCフルスケール 10mA、EXT CONT 入力(CMS-101と接続) |
| 組み合わせる機器 | CMS-221 マスフローメータ、CMS-101 プレッシャーコントローラ |
※社内保管の取扱説明書「2.1 CMS-201フローコントローラ」から転記した型式一般の値。
※単体では流量を測れない。CMS-221 マスフローメータ(検出器)が必要。
※圧力制御まで行うには CMS-101 プレッシャーコントローラも要る。
※制御ガスを変えるときは校正のやり直しが必要(取説 7.1)。
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA CMS-201 の装置概要 AIによる記述です
マスフローメータの流量信号を受け、設定した流量になるようにガスの流れを制御するフローコントローラです。単体では流量を測れず、検出器のCMS-221マスフローメータと組み合わせて使います。CMS-101プレッシャーコントローラを加えると、圧力の制御まで行えます。
流量は10回転ポテンショメータで設定し、スイッチで流量(FLOW)と比率(RATIO)の設定を切り換えます。制御モードは、ポテンショメータで流量を決めるSET、流量をゼロにするCLOSE、外部の設定信号に従うEXT SET、CMS-101による制御のEXT CONTの4つです。流量は3½桁のデジタルパネルメータに最大1000で表示され、フルスケールは100〜1000の範囲で任意に校正できます。外部へは0〜+10VDCの流量モニター出力と流量設定モニター出力を出します。
制御するガスを変えるときは、校正のやり直しが必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
オリフィスコントローラーの買取も行っています
不要になったオリフィスコントローラーがありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。