中古 アネルバ ANELVA 流量コントローラー CMS-201
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- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- CMS-201
- 機種
- フローコントローラー
- 管理番号
- ZZ261005008
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CMS-201 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 出力電圧 | ±15(350mA) / +7.5(500mA) V DC |
|---|---|
| 流量設定出力 | 0〜+5(フルスケール) V DC |
| 流量表示 | 3 1/2桁DPM 最大1000 |
| 制御モード | SET / CLOSE / EXT SET / EXT CONT |
| 流量モニター出力 | 0〜+10(フルスケール、10mA) V DC |
| 外部設定入力 | 0〜+10(フルスケール、10mA) V DC |
| 電源 | AC100V 単相 2A |
| 使用環境温度 | 10〜40 ℃ |
| 質量 | 約2.5 kg |
※本機はマスフローメータの制御電源で、流量計本体(CMS-221)と接続ケーブルは含まれない
※組み合わせる CMS-221 のフルスケールは 10・30・50・100・200・300・500・1000 SCCM の各種で、現品に対応する流量計のレンジは要確認
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA CMS-201 の装置概要 AIによる記述です
熱式質量流量計とソレノイドバルブを組み合わせた CMS-221 マスフローメータを駆動する制御電源で、ガス流量を一定に保つ制御と流量の表示を行う。センサーとバルブ用に ±15 V DC と +7.5 V DC を供給し、0〜+5 V DC の流量信号を 3 1/2 桁のデジタルパネルメータに最大 1000 の目盛りで表示する。流量の設定は10回転ポテンショメータで行い、FLOW と RATIO の切替で、上位の CMS-201 の流量に対する比率で流す使い方もできる。
制御モードは SET、流量をゼロにする CLOSE、外部の 0〜+10 V DC 信号で流量を決める EXT SET、CMS-101 プレッシャーコントローラと組み合わせて真空容器内の圧力を流量で自動制御する EXT CONT の4つ。流量と設定値のモニター出力は 0〜+10 V DC。電源は AC100 V 単相 2 A、質量はケーブルを除いて約 2.5 kg。組み合わせる CMS-221 は 10〜1000 SCCM の各フルスケールがあり、精度はフルスケールの ±1% とされている。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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