中古洗浄機・クリーニング装置の在庫・価格（Trinc）

洗浄機・クリーニング装置は、部品や基板、ウェーハ、ガラス、光学部品などの表面から、油分・パーティクル・有機物の汚れを取り除き、静電気による汚れの再付着を防ぐ機器の分野である。後に続く成膜や接着、はんだ付け、観察の結果は表面の清浄さに大きく左右されるため、製造の現場でも研究室でも前処理として欠かせない。ここには、液体を使うウェット洗浄、プラズマや紫外線を使うドライ洗浄、乾燥、除電の機器と、洗浄に使う薬剤が入る。
ウェット洗浄の代表が超音波洗浄機である。洗浄液に超音波を加えると、液の中で微小な気泡が生まれては潰れるキャビテーションが起き、その衝撃で表面の汚れがはがれる。周波数が低いほど作用が強く、高いほど細かいパーティクルや傷つきやすい部品に向く。水系の洗浄剤のほか、アセトンやアルコールなどの有機溶剤で洗う有機洗浄機があり、半導体の分野では酸やアルカリの薬液槽を並べたウェットベンチも使われる。洗浄の後は、ウェーハや基板を回して水を振り切るスピン乾燥機などで乾かし、シミや再汚染を防ぐ。
ドライ洗浄には、プラズマクリーナーとUVクリーナーがある。プラズマクリーナーは、酸素やアルゴンのプラズマで表面の薄い有機物を分解・除去し、ワイヤーボンディングや接着の前処理、樹脂の表面改質に使われる。真空の容器の中で処理する方式と、大気中でノズルから吹き付ける大気圧プラズマがある。UVクリーナーは、低圧水銀ランプの紫外線とそれが作るオゾンで有機物を分解する装置で、ガラスや基板の表面のぬれ性を上げる処理に使われる。
イオナイザーは、空気をイオン化して物の表面の静電気を中和する除電器である。静電気を帯びた部品や樹脂、フィルムは周りのほこりを引き寄せ、電子部品を壊すこともあるため、洗浄した物に汚れを再び付けないための機器としてこの分野に含める。風でイオンを送るブロワー型、ラインの上に置く棒状のバー型、手で持って吹き付けるガン型などがある。剥離剤や洗浄剤は、レジストや保護膜、塗膜を溶かして取る薬剤や、超音波洗浄機と組み合わせて使う液剤である。
選び分けは、落としたい汚れと対象物の材質、求める清浄さで決まる。油分や粒子が多いならウェット洗浄、すでにきれいな表面に残る薄い有機物を除いてぬれ性を上げたいならドライ洗浄が向き、両方を順に使うことも多い。溶剤を使う場合は引火の危険と排気、薬液を使う場合は廃液の処理、プラズマやUVでは排気とオゾンの扱いが設置の条件になる。