中古 マッチングボックス
メーカー名
電気興業
型式ST-05S
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
100,000円
【AIによる装置概要】
高周波電源とプラズマ処理装置の電極の間に入れて負荷のインピーダンスを整合させ、反射電力を抑えて電力を効率よくプラズマへ送るための自動整合器です。周波数は13.56 MHz、定格電力は0.5 kW、入力インピーダンスは50 Ωです。
整合回路はL-C回路で、真空バリコンをモータで駆動して自動調整し、バリコンの位置はロータリエンコーダで検出します。出力インピーダンスはZ=3.2−j63Ωを含む範囲に対応します。入力はHN型接栓、出力は銅板で、出力端子耐電圧は4 kV DCです。冷却は強制空冷式で、水冷も可能な構造です。整合部の寸法は300(W)×120(H)×320(D) mm、質量は約10 kgです。
組み合わせるコントローラはSTC-05S(480W×99H×255D mm、約5kg)で、使用環境は温度20〜30℃、湿度20〜80%(結露なきこと)です。掲載品にコントローラが付くかは確認が必要です。
【AIによる参考仕様】
・周波数：13.56 MHz
・定格電力：0.5 kW
・入力インピーダンス：50 Ω
・出力インピーダンス：Z=3.2−j63Ω を含むインピーダンス範囲
・整合方式：L-C回路 真空バリコン自動調整式
・バリコン駆動・位置検出：モータドライブ式、ロータリエンコーダ方式
・入力接栓：HN型接栓
・出力接栓：銅板(ST-05S。ST-05BはHN型接栓)
・出力端子耐電圧：4 kV DC
・冷却方式：強制空冷式(水冷可能な構造)
・寸法：300(W)×120(H)×320(D)(整合部のみ) mm
・質量：約10 kg
・対応コントローラ：STC-05S(480W×99H×255D mm、約5kg)
・使用環境：温度20〜30℃、湿度20〜80%(結露なきこと)
※値は社内保管の取扱説明書(TE-75031)3.基本仕様から。掲載品にコントローラSTC-05Sが付属するかは要確認。
高周波電源とプラズマ処理装置の電極の間に入れて負荷のインピーダンスを整合させ、反射電力を抑えて電力を効率よくプラズマへ送るための自動整合器です。周波数は13.56 MHz、定格電力は0.5 kW、入力インピーダンスは50 Ωです。
整合回路はL-C回路で、真空バリコンをモータで駆動して自動調整し、バリコンの位置はロータリエンコーダで検出します。出力インピーダンスはZ=3.2−j63Ωを含む範囲に対応します。入力はHN型接栓、出力は銅板で、出力端子耐電圧は4 kV DCです。冷却は強制空冷式で、水冷も可能な構造です。整合部の寸法は300(W)×120(H)×320(D) mm、質量は約10 kgです。
組み合わせるコントローラはSTC-05S(480W×99H×255D mm、約5kg)で、使用環境は温度20〜30℃、湿度20〜80%(結露なきこと)です。掲載品にコントローラが付くかは確認が必要です。
【AIによる参考仕様】
・周波数：13.56 MHz
・定格電力：0.5 kW
・入力インピーダンス：50 Ω
・出力インピーダンス：Z=3.2−j63Ω を含むインピーダンス範囲
・整合方式：L-C回路 真空バリコン自動調整式
・バリコン駆動・位置検出：モータドライブ式、ロータリエンコーダ方式
・入力接栓：HN型接栓
・出力接栓：銅板(ST-05S。ST-05BはHN型接栓)
・出力端子耐電圧：4 kV DC
・冷却方式：強制空冷式(水冷可能な構造)
・寸法：300(W)×120(H)×320(D)(整合部のみ) mm
・質量：約10 kg
・対応コントローラ：STC-05S(480W×99H×255D mm、約5kg)
・使用環境：温度20〜30℃、湿度20〜80%(結露なきこと)
※値は社内保管の取扱説明書(TE-75031)3.基本仕様から。掲載品にコントローラSTC-05Sが付属するかは要確認。