中古機 マッチングボックス アステック　ASTECH製、型式ATL-100のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、高周波（RF）電源からプラズマチャンバーなどの負荷に対して電力を供給する際、インピーダンスの不整合によって生じる反射波を最小限に抑え、電力伝送効率を最適化するための自動整合器（オートマッチングボックス）です。主に半導体製造プロセスにおけるプラズマエッチング装置、アッシング装置、プラズマCVD装置などの真空プロセス装置に組み込まれて使用されます。

TE580用として設計・調整されており、該当のプラズマ装置内における特有の負荷変動に対して迅速に応答するチューニング特性を備えています。プロセス中にチャンバー内のガス圧やプラズマ密度が変動すると負荷インピーダンスも変化しますが、本ユニットはそれをリアルタイムで検知し、内部のモーター駆動式可変コンデンサ（バリコン）の位置を自動的に調整します。これにより、高周波電源側の基準インピーダンス（50Ω）と負荷側のインピーダンスを常時一致（整合）させ、安定したプラズマ放電の維持とプロセスの高い再現性を実現します。

定格入力電力100Wクラスの微細なプラズマ制御プロセスに適しており、インピーダンスの不整合による電力ロスを防ぐとともに、反射波による高周波電源側へのダメージを防止するための重要な役割を担うコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
・適合装置用途：TE580（プラズマプロセス装置用）
・機器種別：高周波自動整合器（オートマッチングネットワーク）
・対応周波数：13.56 MHz（産業用ISMバンド）
・定格入力電力：100 W クラス
・入力インピーダンス：50 Ω（不平衡）
・チューニング方式：モーター駆動式可変コンデンサによる自動インピーダンス・位相制御
・高周波入力端子：N型同軸コネクタ（標準仕様）
・冷却方式：自然空冷または強制空冷
・制御インターフェース：アナログ/デジタル信号による自動・手動切替制御対応

※メーカーの公式カタログ等において、同一シリーズ内で複数の定格電力（300W、500W等）や異なる周波数のモデルが併記されている場合があります。上記は本型式（100Wクラス・13.56MHz帯域）における一般的な仕様に基づく参考数値です。また、TE580用に専用の制御ケーブルコネクタや内部パラメーターのカスタマイズが施されている可能性がありますので、実機のインターフェース形状等の確認を推奨します。