中古機 イオンゲージ Granville-Phillips製、型式No20343041のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空チャンバー内の高真空から超高真空領域における圧力測定を目的としたBayard-Alpert（B-A）型の熱陰極イオンゲージです。主に半導体製造装置、真空蒸着・スパッタリング装置、および各種研究開発用の真空排気システムに組み込まれ、プロセス管理に不可欠な精密な圧力監視に貢献します。

測定原理として、加熱されたフィラメントから放出される熱電子がグリッド内で気体分子と衝突し、イオン化する過程を利用しています。生成された陽イオンをコレクターで捕集し、その微小なイオン電流を測定することで真空度を圧力値として算出します。本装置の設計においては、高真空領域で測定限界の要因となる軟X線効果を低減する構造が採用されており、10^-10 Torr（Torr/Pa）台までの信頼性の高い測定を可能にしています。

測定対象ガスや使用環境に合わせて、フィラメントはタングステンや、耐酸化性に優れるイットリアコートイリジウムが用いられており、突発的な真空破壊に対する耐性や長寿命化が考慮されています。稼働には専用の真空計コントローラおよび接続ケーブルが必要であり、測定対象の圧力範囲に合わせてエミッション電流（例：1 mAや10 mA）を最適化して使用します。中古品として導入する際は、内部電極の汚れ、フィラメントの消耗度合い、およびフランジ接合部の状態が測定精度に影響するため、運用前の確認および適切なベーキング処理による脱ガスが推奨されます。

【AIによる参考仕様】
・測定原理：Bayard-Alpert（B-A）型 熱陰極電離真空計
・測定圧力範囲：1.0 × 10^-3 Torr ～ 2.0 × 10^-10 Torr （約 1.3 × 10^-1 Pa ～ 2.7 × 10^-8 Pa）
・X線限界（測定下限）：約 2.0 × 10^-10 Torr
・感度係数：約 10 Torr^-1 （窒素ガス換算・標準値）
・推奨エミッション電流：1 mA または 10 mA （コントローラ設定により測定範囲に応じて切替）
・グリッド（陽極）電圧：+180 V DC （標準値）
・フィラメント（陰極）バイアス電圧：+30 V DC （標準値）
・コレクター電位：0 V （接地電位）
・フィラメント材質：タングステン（W） または イットリアコートイリジウム（Y2O3-Ir）
・ベーキング耐熱温度：最大 450 ℃ （※ケーブル・コネクタ非装着時、メタルシール・コンフラットフランジモデルの場合。ガラス管仕様やOリング使用時は制限あり）

※上記は同系統の熱陰極イオンゲージにおける代表的な公称仕様です。装着する専用コントローラの設定、フィラメントの材質、および接続フランジの規格により実際の運用数値が変動する場合があります。