中古 イオンゲージ
メーカー名
アルバック Ulvac
型式GI-M2
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
80,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空から超高真空領域の圧力測定に用いられるB-A（Bayard-Alpert）型電離真空計のコントローラユニットです。熱陰極から放出される電子を加速して残留気体分子と衝突させ、その際に発生した正イオンの電流値を測定することで、真空槽内の圧力を高精度に算出します。主に半導体製造装置、真空蒸着装置、各種研究開発用の高真空チャンバーなど、厳密な圧力管理が求められるプロセスで幅広く採用されています。
フロントパネルには視認性に優れたLEDデジタル表示器が搭載されており、圧力値の仮数部と指数部を直感的に読み取ることが可能です。測定子内部の電極に吸着したガスを強制的に排出する脱ガス（デガス）機能を備えており、超高真空領域（10^-7 Pa台）においてもバックグラウンドノイズを低減し、正確な測定精度を維持します。
また、外部連携機能として、データ記録用のアナログ電圧出力（レコーダー出力）や、任意の圧力設定値でリレーが作動するセットポイント（接点出力）機能を搭載しています。これにより、真空排気系システムのインターロック制御や、プロセスの自動化への組み込みにも対応できる実用的な仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
測定方式：B-A（Bayard-Alpert）型電離真空計
測定圧力範囲：1.0×10^-1 ～ 1.0×10^-7 Pa（接続する測定子に依存）
表示方式：デジタル表示（仮数部・指数部）
脱ガス機能：搭載（電子衝撃方式 または ジュール加熱方式）
エミッション電流：切替式（例：100µA / 1mA / 10mA）
外部アナログ出力：0-10V DC（レコーダー用対数・非線形出力等）
セットポイント（制御出力）：リレー接点出力（上限・下限設定機能）
適合測定子：ULVAC製 B-A型測定子（WITシリーズ等）
入力電源電圧：AC100V 50/60Hz
本装置は、高真空から超高真空領域の圧力測定に用いられるB-A（Bayard-Alpert）型電離真空計のコントローラユニットです。熱陰極から放出される電子を加速して残留気体分子と衝突させ、その際に発生した正イオンの電流値を測定することで、真空槽内の圧力を高精度に算出します。主に半導体製造装置、真空蒸着装置、各種研究開発用の高真空チャンバーなど、厳密な圧力管理が求められるプロセスで幅広く採用されています。
フロントパネルには視認性に優れたLEDデジタル表示器が搭載されており、圧力値の仮数部と指数部を直感的に読み取ることが可能です。測定子内部の電極に吸着したガスを強制的に排出する脱ガス（デガス）機能を備えており、超高真空領域（10^-7 Pa台）においてもバックグラウンドノイズを低減し、正確な測定精度を維持します。
また、外部連携機能として、データ記録用のアナログ電圧出力（レコーダー出力）や、任意の圧力設定値でリレーが作動するセットポイント（接点出力）機能を搭載しています。これにより、真空排気系システムのインターロック制御や、プロセスの自動化への組み込みにも対応できる実用的な仕様となっています。
【AIによる参考仕様】
測定方式：B-A（Bayard-Alpert）型電離真空計
測定圧力範囲：1.0×10^-1 ～ 1.0×10^-7 Pa（接続する測定子に依存）
表示方式：デジタル表示（仮数部・指数部）
脱ガス機能：搭載（電子衝撃方式 または ジュール加熱方式）
エミッション電流：切替式（例：100µA / 1mA / 10mA）
外部アナログ出力：0-10V DC（レコーダー用対数・非線形出力等）
セットポイント（制御出力）：リレー接点出力（上限・下限設定機能）
適合測定子：ULVAC製 B-A型測定子（WITシリーズ等）
入力電源電圧：AC100V 50/60Hz