中古 イオンゲージ
メーカー名
Granville-Phillips
型式No354002-YG-T
年式表記:
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
80,000円
【AIによる装置概要】
本製品は、超高真空から中真空領域までの圧力を高精度に測定するために設計されたマイクロイオンゲージモジュールです。センサー部と制御電子回路がコンパクトに一体化されており、専用の外部コントローラーを必要としないため、装置への組み込みや省スペース化に貢献します。測定範囲は5.0×10^-10 Torrから5.0×10^-2 Torrの広帯域をカバーしており、半導体製造装置や研究用分析機器の真空プロセス管理に適しています。
本モデルはインターフェースとしてRS-485デジタル通信を搭載しており、ホストコンピュータやPLCと直接接続することで、リアルタイムな圧力データの取得や各種パラメータの遠隔設定が可能です。フィラメントには、大気解放時や反応性ガス環境下での劣化が少なく、耐酸化性に優れたイットリアコートイリジウム(Yttria-coated Iridium)が採用されています。モジュール内にはデュアルフィラメント(2基)が組み込まれており、万が一片方が断線した場合でも予備に切り替えて測定を継続できるため、ダウンタイムを最小限に抑える設計となっています。
型式末尾の記号から、測定および出力の基本単位はTorr(トル)に設定されています。また、電子衝撃によるデガス(脱ガス)機能を内蔵しており、ゲージ内部の吸着ガスを効率的に除去することで、高真空域での測定精度と安定性を維持します。
【AIによる参考仕様】
・測定範囲: 5.0 × 10^-10 ~ 5.0 × 10^-2 Torr (N2相当)
・X線限界: 5.0 × 10^-10 Torr
・通信インターフェース: RS-485通信
・測定単位: Torr
・フィラメント材質: イットリアコートイリジウム(Yttria-coated Iridium)
・フィラメント数: 2基(デュアル機構)
・デガス(脱ガス)方式: 電子衝撃方式(消費電力 約3 W)
・供給電源要件: DC 20 ~ 28 V
・最大消費電力: 15 W
・動作環境温度: 0 ~ 40 ℃
・保管環境温度: -40 ~ 70 ℃
・過圧保護(オーバープレッシャー)機能: 内蔵
・真空配管接続: 型式記号「G」に基づく指定フランジ仕様
本製品は、超高真空から中真空領域までの圧力を高精度に測定するために設計されたマイクロイオンゲージモジュールです。センサー部と制御電子回路がコンパクトに一体化されており、専用の外部コントローラーを必要としないため、装置への組み込みや省スペース化に貢献します。測定範囲は5.0×10^-10 Torrから5.0×10^-2 Torrの広帯域をカバーしており、半導体製造装置や研究用分析機器の真空プロセス管理に適しています。
本モデルはインターフェースとしてRS-485デジタル通信を搭載しており、ホストコンピュータやPLCと直接接続することで、リアルタイムな圧力データの取得や各種パラメータの遠隔設定が可能です。フィラメントには、大気解放時や反応性ガス環境下での劣化が少なく、耐酸化性に優れたイットリアコートイリジウム(Yttria-coated Iridium)が採用されています。モジュール内にはデュアルフィラメント(2基)が組み込まれており、万が一片方が断線した場合でも予備に切り替えて測定を継続できるため、ダウンタイムを最小限に抑える設計となっています。
型式末尾の記号から、測定および出力の基本単位はTorr(トル)に設定されています。また、電子衝撃によるデガス(脱ガス)機能を内蔵しており、ゲージ内部の吸着ガスを効率的に除去することで、高真空域での測定精度と安定性を維持します。
【AIによる参考仕様】
・測定範囲: 5.0 × 10^-10 ~ 5.0 × 10^-2 Torr (N2相当)
・X線限界: 5.0 × 10^-10 Torr
・通信インターフェース: RS-485通信
・測定単位: Torr
・フィラメント材質: イットリアコートイリジウム(Yttria-coated Iridium)
・フィラメント数: 2基(デュアル機構)
・デガス(脱ガス)方式: 電子衝撃方式(消費電力 約3 W)
・供給電源要件: DC 20 ~ 28 V
・最大消費電力: 15 W
・動作環境温度: 0 ~ 40 ℃
・保管環境温度: -40 ~ 70 ℃
・過圧保護(オーバープレッシャー)機能: 内蔵
・真空配管接続: 型式記号「G」に基づく指定フランジ仕様


