中古 アネルバ ANELVA イオンゲージ BRG-1B

本装置は、高真空から超高真空領域における高精度な圧力測定を目的とした熱陰極型の電離真空計（イオンゲージ）です。真空チャンバー内の残留ガス分子を、フィラメントから放出される熱電子によって電離させ、その際に発生するイオン電流を捕捉することで圧力を算出するBayard-Alpert（B-A）型の測定原理を採用しています。

半導体やFPD（フラットパネルディスプレイ）の製造装置をはじめ、各種真空成膜プロセス（スパッタリング、真空蒸着）や、研究開発における超高真空システムの圧力モニタリングなど、幅広い用途で活用されています。同社製の真空計は、過酷なプロセス環境下においても安定したエミッション特性と高い測定精度を維持できる堅牢な設計が特徴です。

公式ラインナップにおいて複数モデルが展開されているシリーズの中にあって、本機は特定の測定レンジや接続インターフェースに最適化されています。他モデルとの混同を避けるため、専用コントローラーとの適合性やフランジ仕様には留意が必要です。中古機械としてシステムへ組み込む際は、フィラメントの消耗状態、グリッドやコレクター電極へのデポ（付着物）、および真空接続部のシール面の状態を事前に確認することで、本来の測定精度を確保できます。