中古 Granville-Phillips イオンゲージ No20343041
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- メーカー
- Granville-Phillips
- 型式
- No20343041
- 機種
- イオンゲージ
- 管理番号
- Z17032751
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
No20343041 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 方式 | B-A（ベヤード・アルパート）型 小型電離真空計モジュール |
|---|---|
| 測定範囲 | 5×10⁻⁸〜5×10⁻³ Torr |
| 測定範囲(SI換算) | 6.7×10⁻⁶〜6.7×10⁻¹ Pa |
| 精度 | +30%／-15%（代表値） |
| エミッション電流 | 0.1／2 mA |
| アナログ出力 | 対数 1 Vdc/decade |
| 過圧保護 | 5×10⁻³ Torrを超えるとゲージをOFF |
| 電源 | DC+24V ±15%、最大12W |
| デガス | 電子衝撃式 約3W（2分タイマー） |
| 電気接続 | D-sub 9ピン |
| 真空接続 | NW16KF または 1-5/16インチ ConFlat |
| 陰極 | トリア被覆イリジウム |
| 筐体材質 | アルミ押出材 |
| 質量 | 約0.37 kg |
| 使用温度 | 0〜40 ℃ |
※上記は同系統の熱陰極イオンゲージにおける代表的な公称仕様です。装着する専用コントローラの設定、フィラメントの材質、および接続フランジの規格により実際の運用数値が変動する場合があります。
出典: api.p1.mks.com
Granville-Phillips No20343041 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、真空チャンバー内の高真空から超高真空領域における圧力測定を目的としたBayard-Alpert（B-A）型の熱陰極イオンゲージです。主に半導体製造装置、真空蒸着・スパッタリング装置、および各種研究開発用の真空排気システムに組み込まれ、プロセス管理に不可欠な精密な圧力監視に貢献します。
測定原理として、加熱されたフィラメントから放出される熱電子がグリッド内で気体分子と衝突し、イオン化する過程を利用しています。生成された陽イオンをコレクターで捕集し、その微小なイオン電流を測定することで真空度を圧力値として算出します。本装置の設計においては、高真空領域で測定限界の要因となる軟X線効果を低減する構造が採用されており、10^-10 Torr（Torr/Pa）台までの信頼性の高い測定を可能にしています。
測定対象ガスや使用環境に合わせて、フィラメントはタングステンや、耐酸化性に優れるイットリアコートイリジウムが用いられており、突発的な真空破壊に対する耐性や長寿命化が考慮されています。稼働には専用の真空計コントローラおよび接続ケーブルが必要であり、測定対象の圧力範囲に合わせてエミッション電流（例：1 mAや10 mA）を最適化して使用します。中古品として導入する際は、内部電極の汚れ、フィラメントの消耗度合い、およびフランジ接合部の状態が測定精度に影響するため、運用前の確認および適切なベーキング処理による脱ガスが推奨されます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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