中古機 走査電子顕微鏡（SEM） 日立ハイテクノロジーズ Hitachi High-Technologies製、型式S-2600Hのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、タングステンフィラメントを電子源に採用した高真空観察専用の汎用走査電子顕微鏡です。同シリーズ内で低真空観察に対応したモデルとは異なり、高真空環境下での高コントラストかつ鮮明な二次電子像の取得に特化しています。

加速電圧は0.5 kVから最大30 kVの範囲で調整可能であり、最高分解能は4.0 nm（加速電圧30 kV時）を有しています。倍率は15倍の低倍率から最大300,000倍までの広範な領域をカバーしており、金属、半導体、セラミックスなどの微細な表面形態観察や品質管理に広く用いられる設計です。操作系にはWindowsベースのPCコントロールシステムが採用されており、マウス操作による直感的なステージ制御や画像取得、オートフォーカス、自動コントラスト調整機能を備え、安定した操作性を実現しています。

なお、本装置にはエネルギー分散型X線分析装置（EDS/EDX）である「EMAX」が付帯しておりますが、現在は故障状態にあるため元素分析機能はご利用いただけません。SEM本体による形態観察のみを目的とした運用、もしくはEDSシステムの修理・換装を前提とした用途に限定されます。

【AIによる参考仕様】
・電子銃：熱電子放出型（タングステンヘアピンフィラメント）
・真空モード：高真空専用
・二次電子分解能：4.0 nm（加速電圧 30 kV時）
・倍率：15倍 ～ 300,000倍
・加速電圧：0.5 kV ～ 30 kV
・検出器：二次電子検出器
・試料ステージ：5軸マニュアルまたはモーター駆動（X, Y, Z, 傾斜, 回転）
・操作システム：Windowsベース PCコントロールシステム
・付帯分析装置：エネルギー分散型X線分析装置（EMAX）※故障中につき使用不可