中古 走査電子顕微鏡（SEM）
メーカー名
日立ハイテク Hitachi High-Tech
型式SU1510
年式表記：2014年
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
3,500,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、タングステンフィラメントを電子線源に採用した汎用型の走査電子顕微鏡です。導電性の試料はもちろんのこと、非導電性の試料や水分を含んだ試料であっても、低真空（可変圧力）モードを使用することで、金属コーティングなどの煩雑な前処理を行うことなくそのまま観察することが可能です。低真空モードにおける圧力範囲は6〜270 Paに対応しています。
試料室は大型の設計となっており、最大で直径153 mmの試料をそのまま導入・観察できます。また、5軸可動ステージ（X、Y、Z、傾斜、回転）を搭載しており、多様な角度や位置からの観察をスムーズに実行可能です。
分解能は高真空モード（加速電圧30 kV時）で3.0 nm、低真空モード（同30 kV時）で4.0 nmを実現しており、微細な表面形状の高精細な画像取得に対応します。倍率は5倍の広視野から最大300,000倍まで連続的に調整できるため、全体像の把握から微小領域の局所観察まで、幅広い分析用途で活用できる基本性能を備えています。
【AIによる参考仕様】
・電子銃：タングステンフィラメント（ヘアピン型）
・分解能（高真空時）：3.0 nm（加速電圧 30 kV）
・分解能（低真空時）：4.0 nm（加速電圧 30 kV）
・加速電圧：0.3 〜 30 kV
・倍率：5 〜 300,000倍
・低真空圧力範囲：6 〜 270 Pa
・最大対応試料サイズ：直径 153 mm
・試料ステージ移動範囲
X軸：0 〜 80 mm
Y軸：0 〜 40 mm
Z軸：5 〜 50 mm
傾斜（Tilt）：-20 〜 +90°
回転（Rotation）：360°
・標準検出器：二次電子検出器、高感度半導体反射電子検出器
※上記は当該型式の標準的なカタログ仕様です。実際の搭載オプションやシステム構成により、中古実機の仕様とは異なる場合があります。
本装置は、タングステンフィラメントを電子線源に採用した汎用型の走査電子顕微鏡です。導電性の試料はもちろんのこと、非導電性の試料や水分を含んだ試料であっても、低真空（可変圧力）モードを使用することで、金属コーティングなどの煩雑な前処理を行うことなくそのまま観察することが可能です。低真空モードにおける圧力範囲は6〜270 Paに対応しています。
試料室は大型の設計となっており、最大で直径153 mmの試料をそのまま導入・観察できます。また、5軸可動ステージ（X、Y、Z、傾斜、回転）を搭載しており、多様な角度や位置からの観察をスムーズに実行可能です。
分解能は高真空モード（加速電圧30 kV時）で3.0 nm、低真空モード（同30 kV時）で4.0 nmを実現しており、微細な表面形状の高精細な画像取得に対応します。倍率は5倍の広視野から最大300,000倍まで連続的に調整できるため、全体像の把握から微小領域の局所観察まで、幅広い分析用途で活用できる基本性能を備えています。
【AIによる参考仕様】
・電子銃：タングステンフィラメント（ヘアピン型）
・分解能（高真空時）：3.0 nm（加速電圧 30 kV）
・分解能（低真空時）：4.0 nm（加速電圧 30 kV）
・加速電圧：0.3 〜 30 kV
・倍率：5 〜 300,000倍
・低真空圧力範囲：6 〜 270 Pa
・最大対応試料サイズ：直径 153 mm
・試料ステージ移動範囲
X軸：0 〜 80 mm
Y軸：0 〜 40 mm
Z軸：5 〜 50 mm
傾斜（Tilt）：-20 〜 +90°
回転（Rotation）：360°
・標準検出器：二次電子検出器、高感度半導体反射電子検出器
※上記は当該型式の標準的なカタログ仕様です。実際の搭載オプションやシステム構成により、中古実機の仕様とは異なる場合があります。