中古 走査電子顕微鏡（SEM）
メーカー名
日立ハイテク Hitachi High-Tech
型式S-3700N
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
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【AIによる装置概要】
本装置は、汎用性が高く、特に大型試料の観察および分析に強みを持つ熱電子放射型（タングステンフィラメント）の走査電子顕微鏡です。設計上の最大の特徴は、最大で直径300mm、高さ110mmの大型試料を非破壊のままチャンバー内に導入できる大型試料室を備えている点です。試料ステージは5軸モーター駆動式（X軸125mm、Y軸100mm、Z軸5〜50mm、傾斜-20〜90度、回転360度連続）を採用しており、大型試料の広範囲な観察や複数試料の同時セットをスムーズに行うことが可能です。
分解能については、高真空モード時で3.0nm（加速電圧30kV）、低真空モード時で4.0nm（加速電圧30kV）を実現しています。6Paから270Paの低真空観察機能を搭載しているため、含水試料や絶縁物であっても、導電性コーティングなどの前処理を施すことなく直接観察が可能です。さらに、エネルギー分散型X線分析装置（EDS）や波長分散型X線分析装置（WDS）、電子背乱回折（EBSD）などの各種分析機器を同時に搭載できるよう最適化されたアクセサリーポートを複数備えており、多様な分析ニーズに対応するプラットフォームとして機能します。
【AIによる参考仕様】
・電子銃：熱電子放射型（タングステンヘアピン）
・分解能（高真空）：3.0 nm（加速電圧 30 kV）
・分解能（低真空）：4.0 nm（加速電圧 30 kV）
・加速電圧：0.3 kV ～ 30 kV
・倍率：5倍 ～ 300,000倍
・最大搭載試料サイズ：直径 300 mm、高さ 110 mm
・試料ステージ：5軸モーター駆動 ユーセントリックステージ
・ステージ移動範囲：X: 0～125 mm、Y: 0～100 mm、Z: 5～50 mm、傾斜（T）: -20°～+90°、回転（R）: 360°（連続）
・低真空設定範囲：6 Pa ～ 270 Pa
・真空系排気装置：ターボ分子ポンプ（TMP）、油回転真空ポンプ（RP）
・主な検出器：二次電子検出器、半導体反射電子検出器
本装置は、汎用性が高く、特に大型試料の観察および分析に強みを持つ熱電子放射型（タングステンフィラメント）の走査電子顕微鏡です。設計上の最大の特徴は、最大で直径300mm、高さ110mmの大型試料を非破壊のままチャンバー内に導入できる大型試料室を備えている点です。試料ステージは5軸モーター駆動式（X軸125mm、Y軸100mm、Z軸5〜50mm、傾斜-20〜90度、回転360度連続）を採用しており、大型試料の広範囲な観察や複数試料の同時セットをスムーズに行うことが可能です。
分解能については、高真空モード時で3.0nm（加速電圧30kV）、低真空モード時で4.0nm（加速電圧30kV）を実現しています。6Paから270Paの低真空観察機能を搭載しているため、含水試料や絶縁物であっても、導電性コーティングなどの前処理を施すことなく直接観察が可能です。さらに、エネルギー分散型X線分析装置（EDS）や波長分散型X線分析装置（WDS）、電子背乱回折（EBSD）などの各種分析機器を同時に搭載できるよう最適化されたアクセサリーポートを複数備えており、多様な分析ニーズに対応するプラットフォームとして機能します。
【AIによる参考仕様】
・電子銃：熱電子放射型（タングステンヘアピン）
・分解能（高真空）：3.0 nm（加速電圧 30 kV）
・分解能（低真空）：4.0 nm（加速電圧 30 kV）
・加速電圧：0.3 kV ～ 30 kV
・倍率：5倍 ～ 300,000倍
・最大搭載試料サイズ：直径 300 mm、高さ 110 mm
・試料ステージ：5軸モーター駆動 ユーセントリックステージ
・ステージ移動範囲：X: 0～125 mm、Y: 0～100 mm、Z: 5～50 mm、傾斜（T）: -20°～+90°、回転（R）: 360°（連続）
・低真空設定範囲：6 Pa ～ 270 Pa
・真空系排気装置：ターボ分子ポンプ（TMP）、油回転真空ポンプ（RP）
・主な検出器：二次電子検出器、半導体反射電子検出器