中古機 走査電子顕微鏡（SEM） 日立ハイテク Hitachi High-Tech製、型式S-3500Nのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空から低真空までの幅広い観察条件に対応した汎用型の走査電子顕微鏡です。低真空モード（圧力調整範囲：1〜270 Pa）を利用することで、帯電しやすい非導電性試料や水分を含んだ試料でも、事前の導電コーティング処理を施すことなくそのまま観察できる点が大きな特徴です。

二次電子像の分解能は高真空モード・加速電圧30 kVにおいて3.0 nmを実現しており、微細な表面形状の観察に十分な性能を有しています。低真空モードにおける反射電子像の分解能も4.0 nmを確保しています。加速電圧は0.3 kVから30 kVまで細かく調整可能であり、熱ダメージを受けやすい試料から高分解能観察まで、多様な用途に適用できます。倍率は15倍から最大300,000倍まで対応しています。

また、大型の試料室を採用しており、直径150 mmクラスの大型試料を割る事なくそのまま導入することが可能です。多軸駆動のステージにより、関心領域へのアプローチを効率的に行うことができます。

なお、本機にはエネルギー分散型X線分析装置（EMAX）が付属していますが、現在は故障している状態です。そのため、元素分析機能は利用できず、表面の形態観察を主目的とする運用が前提となります。

【AIによる参考仕様】
・電子銃：タングステンヘアピンフィラメント
・分解能（高真空モード）：3.0 nm（加速電圧 30 kV時）
・分解能（低真空モード）：4.0 nm（加速電圧 30 kV時）
・倍率：15倍 ～ 300,000倍
・加速電圧：0.3 kV ～ 30 kV
・低真空圧力範囲：1 ～ 270 Pa
・最大試料サイズ：直径 150 mm
・試料ステージ駆動：5軸（X, Y, Z, 傾斜, 回転）
・付属機器：エネルギー分散型X線分析装置 EMAX（※現在故障中のため使用不可）