中古機 DC安定化電源 アネルバ　ANELVA製、型式MDX-10K　STD-Z DELTA SLAVEのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空成膜プロセス（主にマグネトロンスパッタリング）におけるプラズマ発生やバイアス印加を目的とした、最大出力10kWの直流（DC）安定化電源です。本機は「DELTA SLAVE」仕様であり、単独での稼働ではなく、対応するマスター電源と接続してシステムを構築するためのスレーブユニットとして機能します。これにより、複数台をパラレル接続して出力を拡張する際や、高度なアーク抑制システムを構築する際の拡張用電源として使用されます。

真空装置内に安定したプラズマ放電を維持するため、マスター機からの信号に追従して高速かつ高精度な電力供給を行います。「STD-Z」は標準的な出力インピーダンス（Standard Z）仕様を示しており、幅広いターゲット材や成膜条件での放電に対応する設計となっています。

長時間の連続稼働を前提としたプロセスに耐えうるよう、冷却方式には水冷式が採用されており、熱的安定性に優れています。半導体製造、電子部品、光学薄膜などの高精度なスパッタリングプロセスを支える電源システムの一部として、工業的に広く導入されているモデルです。

【AIによる参考仕様】
・最大出力電力：10 kW
・機器構成：スレーブ専用ユニット（単独動作不可、マスター機による制御）
・出力インピーダンス仕様：STD-Z（標準インピーダンス）
・出力制御モード：定電力 / 定電圧 / 定電流（マスター機側の制御に依存）
・用途：マグネトロンスパッタリング、PVD成膜用DCプラズマ発生
・冷却方式：水冷式（冷却水循環）
・インターフェース：マスター電源接続用通信ポート
・入力電源：3相 AC200V〜208V帯（※仕様によりAC400V帯域の可能性もあるため、実機の銘板・結線要確認）
・安全機能：過電圧保護、過電流保護、冷却水異常検知（マスター機連動）

※上記は同型式の一般的なカタログスペックに基づいた参考仕様です。スレーブ機としての特殊な設定や、過去のカスタマイズ状況により実機の仕様が一部異なる場合があります。用途に応じたマスター電源との互換性をあわせてご確認ください。