中古 サーモカップル（TCゲージ）
メーカー名
アネルバ ANELVA
型式TG-550B
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
3,000円
【AIによる装置概要】
気体の熱伝導率と圧力の相関関係を利用して真空度を測定する熱電対真空計（サーモカップルゲージ）です。主にロータリーポンプなどを用いた粗引き排気ラインの圧力モニターや、真空装置における低真空領域の測定機器として利用されます。
熱電対方式はフィラメントの加熱温度変化を熱電対の起電力として検出する仕組みを採用しており、構造が堅牢でコンタミネーション（汚れやオイルミストなど）による測定誤差が生じにくいという特性を持っています。そのため、過酷な使用環境下でも長期間にわたり安定した圧力測定が可能です。
半導体製造装置や真空蒸着装置、研究開発用の真空チャンバーなど、幅広い真空システムにおける日常的な圧力監視用として実績があります。大気圧付近から10のマイナス1乗Pa台までの圧力降下の確認や、高真空ポンプへ切り替える際のバルブ開閉タイミングの判断など、プロセス制御の補助的な役割を担う実用的な計測機器です。
【AIによる参考仕様】
測定方式：熱電対方式（気体熱伝導測定）
圧力測定範囲：1.3×10² ～ 1.3×10⁻¹ Pa（1 ～ 1×10⁻³ Torr）
表示方式：アナログメーター表示
適合測定子：専用熱電対測定子
出力信号：レコーダー用アナログ出力
電源仕様：AC100V（50/60Hz）
主な用途：低真空・粗引きラインの圧力モニター、インターロック信号用
気体の熱伝導率と圧力の相関関係を利用して真空度を測定する熱電対真空計（サーモカップルゲージ）です。主にロータリーポンプなどを用いた粗引き排気ラインの圧力モニターや、真空装置における低真空領域の測定機器として利用されます。
熱電対方式はフィラメントの加熱温度変化を熱電対の起電力として検出する仕組みを採用しており、構造が堅牢でコンタミネーション（汚れやオイルミストなど）による測定誤差が生じにくいという特性を持っています。そのため、過酷な使用環境下でも長期間にわたり安定した圧力測定が可能です。
半導体製造装置や真空蒸着装置、研究開発用の真空チャンバーなど、幅広い真空システムにおける日常的な圧力監視用として実績があります。大気圧付近から10のマイナス1乗Pa台までの圧力降下の確認や、高真空ポンプへ切り替える際のバルブ開閉タイミングの判断など、プロセス制御の補助的な役割を担う実用的な計測機器です。
【AIによる参考仕様】
測定方式：熱電対方式（気体熱伝導測定）
圧力測定範囲：1.3×10² ～ 1.3×10⁻¹ Pa（1 ～ 1×10⁻³ Torr）
表示方式：アナログメーター表示
適合測定子：専用熱電対測定子
出力信号：レコーダー用アナログ出力
電源仕様：AC100V（50/60Hz）
主な用途：低真空・粗引きラインの圧力モニター、インターロック信号用